Mit seinen Eigenschaften der elektrischen Isolierung und der ausgezeichneten Wärmeleitfähigkeit ist Aluminiumnitrid (AlN) Keramik ideal für Anwendungen, bei denen eine Wärmeableitung erforderlich ist. Da es außerdem einen Wärmeausdehnungskoeffizienten (WAK) nahe dem von Silizium und eine ausgezeichnete Plasmabeständigkeit aufweist, wird es für Komponenten von Halbleiterverarbeitungsanlagen verwendet.
Aluminiumnitrid (AlN)-Keramik weist folgende außergewöhnliche Eigenschaften auf:
Gute mechanische Eigenschaften,
Höhere Biegefestigkeit als Al2O3- und BeO-Keramiken,
Hohe Temperatur- und Korrosionsbeständigkeit.
Hohe Wärmeleitfähigkeit kombiniert mit guten elektrischen Isolationseigenschaften.
Außergewöhnliche Stabilität bei Einwirkung vieler geschmolzener Salze.
Thermische Stabilität bis zu mindestens 1500°C
Günstige mechanische Eigenschaften bis in den Hochtemperaturbereich hinein.
Geringe thermische Ausdehnung und Beständigkeit gegen Temperaturschock.
Besondere optische und akustische Eigenschaften.
---