Elektrische Isolierplatte AN-170

Produktübersicht
Das Aluminiumnitrid-Substrat (AlN) AN-170 in der Größe 138 × 190 × 0,635 mm ist eine großformatige Keramik-Masterplatte, ausgelegt für die nachgelagerte Verarbeitung zu fertigen elektronischen Substraten. Es bietet konstante Oberflächenbeschaffenheit, Ebenheit und Maßhaltigkeit, geeignet für Metallisierung und fortgeschrittene Dick-/Dünnschichtprozesse.

Überblick
AlN-Substrate vereinen hohe Wärmeleitfähigkeit mit elektrischer Isolierung und dimensionaler Stabilität und eignen sich daher für Leistungselektronik, Wärmemanagement und Halbleitergehäuse, in denen Wärmeableitung und elektrische Isolation erforderlich sind.

Wesentliche Produktmerkmale

• Plattengröße: 138 × 190 mm (Großformat-Masterplatte)
• Dicke: 0,635 mm
• Gesteuerte Oberflächenrauheit für Metallisierung und Photolithographie
• Niedrige Verformung und gute Chargenkonsistenz für zuverlässige nachgelagerte Prozesse

Anwendungen

• DPC-Metallisierung: Vollplatten-Sputtern, Galvanisieren und Photolithographie
• Dickschichtverarbeitung: Siebdruck, Sintern und Lasertrimming
• Dünnschichtverarbeitung: Abscheidung und Strukturierung
• DBC / AMB Workflows für die Herstellung von Leistungselektronik-Substraten
• Präzisions-Laserschneiden und Singulation zu kundenspezifischen Keramiksubstraten

Eigenschaften der Aluminiumnitrid-Keramik (Tabelle)
Artikel: AlN / AN-170
Material: Aluminiumnitrid (AlN)
Erscheinungsbild: Hellcyan
Oberflächenrauheit (Ra, μm): 0,1 – 0,75
Dichte (g/cm³): ≥ 3,3

Physikalische Eigenschaften:
- Biegefestigkeit (Dreipunktprüfung), MPa: ≥ 400
- Vickers-Härte (Last 4,9), HV0.2: ≥ 1000
- Wasseraufnahme, %: –

Thermische Eigenschaften:
- Wärmeleitfähigkeit (25°C), W/(m·K): ≥ 170
- Linearer thermischer Ausdehnungskoeffizient (25–500°C), ×10⁻⁶/°C: 4 – 6
- Thermoschockbeständigkeit (800°C), Zyklen: ≥ 10
- Spezifische Wärme, J/(kg·K): 720

Elektrische Eigenschaften:
- Dielektrizitätskonstante (1 MHz / 25°C): 8 – 9
- Dielektrischer Verlust (1 MHz / 25°C), ×10⁻⁴: ≤ 3
- Volumenwiderstand (25°C), Ω·cm: > 1e14
- Durchschlagfestigkeit, kV/mm: > 17

Charakteristika / technische Spezifikationen

• Modell / Klasse: AN-170
• Plattengröße: 138 × 190 mm
• Dicke: 0,635 mm
• Material: Aluminiumnitrid (AlN)
• Erscheinungsbild: Hellcyan
• Oberflächenrauheit (Ra): 0,1–0,75 μm
• Dichte: ≥ 3,3 g/cm³
• Biegefestigkeit (Dreipunkt): ≥ 400 MPa
• Vickers-Härte (HV0.2): ≥ 1000
• Wärmeleitfähigkeit (25°C): ≥ 170 W/(m·K)
• Ausdehnungskoeffizient (25–500°C): 4–6 ×10⁻⁶/°C
• Thermoschockbeständigkeit (800°C): ≥ 10 Zyklen
• Spezifische Wärme: 720 J/(kg·K)
• Dielektrizitätskonstante (1 MHz / 25°C): 8–9
• Dielektrischer Verlust (1 MHz / 25°C): ≤ 3 ×10⁻⁴
• Volumenwiderstand (25°C): > 1e14 Ω·cm
• Durchschlagfestigkeit: > 17 kV/mm