Kammerofen

Wärmebehandlungelektrischkompakt

Der für N-Typ-Zellen konzipierte Ofen vereint Brenn- und lichtinduzierten Passivierungsofen in einem Gerät, um den Platzbedarf zu reduzieren und Energie einzusparen. Geeignet für 182–230 mm große Wafer Kompakte Bauweise und Energieeinsparung Integrierte Bauweise von Brenn- und Passivierungsofen zur Energieeinsparung. Geringer Stromverbrauch Integriertes Design zur Reduzierung des Energieverbrauchs Präzise Temperaturregelung Das hervorragende Design der Ofenkammer in Kombination mit dem eigens entwickelten Temperaturregelsystem ermöglicht eine Temperaturregelung im geschlossenen Regelkreis. Höhere Effizienz Die lichtinduzierte Zone nutzt eine LED-Lampe mit spezieller Wellenlänge, die in Kombination mit den Prozessparametereinstellungen die Effizienz steigern kann. Hohe Kompatibilität Unterstützt Voll- und Halbzellen.