Das UV-Ablationssystem D632D für halbgeschnittene Solarzellen ist in erster Linie für den Laserablationsprozess von halbgeschnittenen XBC-Zellen konzipiert. Es nutzt ultraviolette und grüne Pikosekundenlaser, um die Muster auf BSG/PSG- und n-Poly/a-Si:H-Schichten abzutragen, wodurch in Verbindung mit einem anschließenden Nassprozess die Isolierung der p-/n-Bereiche auf der Rückseite erreicht wird.
Kapazität P1
≥9600 Stück/h bei 210 × 10⁵
Kapazität P2
≥7200 Stück/h bei 210 × 10⁵
Ausrichtungsgenauigkeit
≤10 µm
Laser zur Musterung mit hervorragender Genauigkeit und hoher Stabilität
Von Kunden geschätzt für seine hohe Stabilität, hervorragende Ausrichtungsgenauigkeit, minimierte Wärmeeinflusszone und hocheffiziente Staubentfernung
Hohe Stabilität
Hochstabilisiertes direktionales optisches System.
Hohe Gleichmäßigkeit
Hochgleichmäßiger, geformter Lichtfleck; Unterstützung der Anpassung der Spotgröße, ohne dass das DOE gewechselt werden muss.
Hohe Geschwindigkeit
Ultrahochgeschwindigkeits-Galvanometer-Abtastsystem.
Hohe Präzision
Hochpräzise Positionierung und Ausrichtung.
Hocheffiziente Staubentfernung
Hocheffizientes Staubentfernungssystem zur Minimierung der Auswirkungen von Staub auf Prozesse und Komponenten.
---