CVD-Auftragsmaschine

Die LPCVD-Anlage mit ihrem ausgereiften und stabilen Prozess gehört zu den ersten Anlagen für die Massenproduktion von TOPcon-Zellen. Hohe durchschnittliche Ausbeute, gute Schichtgleichmäßigkeit Unser eigenes, patentiertes Luftzufuhrsystem verbessert die Gleichmäßigkeit und Steuerbarkeit des Strömungsfeldes. Hohe Ausbeute Die gleichmäßige Luftströmung führt zu einer gleichmäßigen Schicht und einer hohen Ausbeute. Lange Lebensdauer des Quarzrohrs: 6 Monate Lebensdauer des Quarzrohrs dank innovativer Befestigungskonstruktion und geringem Luftverbrauch. Stabile Temperaturzonen: Die sinnvolle Anordnung der Heizfäden trägt zu guter Konsistenz und Regelbarkeit bei, was zu stabilen und kontrollierbaren Temperaturzonen führt.