Plasma-Generator / Industrie TruPlasma RF Air Sériés 1000

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Kurzbeschreibung
Der luftgekühlte HF‑Generator TruPlasma RF 1001 Air liefert bis zu 1000 W präzise dosierter, reproduzierbarer HF‑Leistung mit 0,1 W Auflösung (100 mW‑Schritte). Entwickelt für die Halbleiter‑, Solar‑ und Display‑Fertigung, vereint er die patentierte TRUMPF Hüttinger Technologie und CombineLine‑Anpassung für stabile Plasmaprozesse.

Hauptmerkmale

• Smart Auto Frequency Tuning (AFT): schnelle, optimale Frequenzanpassung zwischen Generator und Matchbox.
• Hochgenaues Arc‑Management: Früherkennung von Arcs und Schutz für empfindliche Prozesse.
• Multi‑Level Pulsing: konfigurierbare mehrstufige Pulsformen für erweitertes Prozess‑Tuning.
• Plug & Play‑Modularität: ½‑19‑Zoll Einschub für einfachen Austausch und Retrofit.
• Echte 50 Ω‑Ausgangsimpedanz (CombineLine): gleichmäßige Prozessleistung und geringere Anfälligkeit für Laständerungen.
• Einheitliche Generatorenfamilie: gleiche Technologie in verschiedenen Leistungsklassen für vereinfachte Integration.
• Unabhängig von HF‑Kabellänge: keine Anpassung der Kabellänge nach Systemänderungen erforderlich.

Anwendungen

• Reactive‑Ion Etching (RIE)
• Atomic Layer Deposition (ALD)
• Plasma‑Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD)
• RF‑Sputtern
• Fertigung von Halbleitern, MEMS, Flachbildschirm‑Beschichtungen und Solarzellen

Kundennutzen & Systemfunktionen

• Hohe Reproduzierbarkeit: Energiedosierung in 100 mW‑Schritten für beste Wafer‑to‑Wafer‑Konsistenz.
• Kompakte, platzsparende Bauweise: ½‑19‑Zoll Einschub, geeignet für Neuinstallationen und Retrofit.
• Vielzahl an Schnittstellen zur Integration: konfigurierbare Analogschnittstelle, Ethernet, DeviceNet, PROFIBUS, EtherCAT.
• TRUMPF SystemPort‑Support: Regelung im geschlossenen Kreis, Echtzeit‑RF‑Messung an Ein‑/Ausgang der Matchbox, Schutzfunktionen und Prozessüberwachung.
• Digitale Prozessfunktionen: AFT 2.0, Arc‑Management, Multi‑Level Pulsing zur feinen Anpassung an Prozessanforderungen.

Technische Daten

• Leistungsbereich: bis zu 1000 W (TruPlasma RF 1001 Air)
• Leistungsauflösung: 0,1 W (100 mW‑Schritte)
• Kühlung: luftgekühlt
• Ausgangsimpedanz: echte 50 Ω (CombineLine‑Technologie)
• Pulsbetrieb: Multi‑Level, frei wählbare Pulsformen
• Auto Frequency Tuning: Smart AFT für schnelle Abstimmung Generator–Matchbox
• Formfaktor: kompakter ½‑19‑Zoll Einschub
• Schnittstellen: konfigurierbare Analogschnittstelle, Ethernet, DeviceNet, PROFIBUS, EtherCAT
• Systemsteuerung: TRUMPF SystemPort für geschlossene Regelung und Echtzeitmessung