Bodenstehende Stromversorgung TruPlasma MF Series 7000 (G2)

AC/ACfür IndustrieanwendungenHochleistung

Produktübersicht
Die TruPlasma MF Serie 7000 (G2) bietet vollständige Kontrolle über MF‑Sputterprozesse durch überlegenes Arc‑Management und optimiertes Zündverhalten. Entwickelt als Stromversorgung für Großflächenbeschichtungen und anspruchsvolle reaktive Prozesse wie Dual Magnetron Sputtering. Spitzenwirkungsgrade über 90 % und Betriebswirkungsgrade über 80 % sowie ein effizientes Kühlwassermanagement senken die Betriebskosten.

Hauptvorteile

• Höchste Schichtqualität und Produktivität: exzellente Ergebnisse und hohe Abscheideraten auch bei reaktiven Prozessen.
• Maximale Effizienz: Spitzenwirkungsgrade > 90 %; Betriebswirkungsgrade > 80 %.
• Stabile Stromversorgung unter allen Umgebungsbedingungen: zuverlässig bei hohen Kühlwassertemperaturen und niedrigem Differenzdruck.
• Weltweit einsetzbar: großer Anschlussspannungsbereich ohne technische Anpassungen.

Anwendungen

• Großflächenbeschichtung (z. B. Architekturglas), wo Stabilität und Homogenität entscheidend sind.
• Beschichtung von Flachbildschirmen und Touch‑Panels mittels Dual Magnetron Sputtering für ultra‑dünne AlxOx‑Schichten.
• Fertigung von Solarzellen und Beschichtung von Solarglas mit transparenten leitfähigen Schichten (TCO) durch MF‑Sputtern.

Kundennutzen / Prozesssteuerung

• Präzise Prozesssteuerung mit wenigen Parameter-Einstellungen zur Balance von Arc‑Empfindlichkeit und Durchsatz.
• Überlegenes Arc‑Management: schnelle Reaktionszeiten, reduzierte Restenergie und Vermeidung von arzbedingten Zielschäden; Unterstützung des spannungsgesteuerten Übergangsmodus.
• Verschiedene Schnittstellen und die TruControl Power Software ermöglichen einfache Konfiguration und Diagnose.

Optionen

• Aktive Schaltschrankentfeuchtung für sehr hohe Luftfeuchte (erfordert Kühlwasserregelung).
• Schaltschranktür mit besonders großer Öffnung (180° Option; Standard 130°).
• Schnittstellen: Profinet, Profibus, EtherCAT, analoge und digitale I/Os für Integration.
• Ultraschnelles Arc‑Management (UltraFastTreatment ≤ 1 mJ/kW optional; Standard ≤ 10 mJ/kW). Sicherheitskategorie 3 erforderlich für UltraFastTreatment.
• Zündhilfe zur Reduktion von Arc‑Bildung und thermischem Stress; Zündspannung und Rampenzeit einstellbar.
• Optionaler erweiterter Frequenzbereich: 20–70 kHz für MF‑Generatoren bis 100 kW (Standard 20–50 kHz).

Software
TruControl Power: anwenderfreundliche, mehrsprachige Software für Betrieb, Konfiguration und Diagnose des Generators.

Systemkomponenten und Zubehör

• Optimierte TRUMPF Hüttinger MF‑Leistungskabel werden mitgeliefert, um die Systemleistung sicherzustellen.
• Auswahl geeigneter Systemkomponenten zur Anpassung der TruPlasma MF Serie 7000 (G2) an die Anlagenumgebung.

Downloads
Produktbroschüre verfügbar im PDF‑Format.

Technische Spezifikationen

• Bezeichnung: TruPlasma MF Serie 7000 (G2)
• Marke: TRUMPF
• Spitzenwirkungsgrad: > 90 %
• Typischer Betriebswirkungsgrad: > 80 %
• Leistungsbereich: MF‑Generatoren bis zu 100 kW verfügbar (Varianten/Optionen)
• Standard‑Frequenzbereich: 20–50 kHz; optional erweiterbar: 20–70 kHz (bis 100 kW)
• UltraFastTreatment (optional): ≤ 1 mJ/kW; Standard ARC‑Behandlung: ≤ 10 mJ/kW
• Sicherheitsanforderung für UltraFastTreatment: Sicherheitskategorie 3
• Zündhilfe: einstellbare Zündspannung und Rampenzeit
• Schaltschranktür: Standardöffnung 130°; Option 180°
• Kühlung: effizientes Kühlwassermanagement; zuverlässiger Betrieb bei hohen Kühlwassertemperaturen und niedrigem Druck
• Schnittstellen: Profinet, Profibus, EtherCAT, analoge und digitale I/Os
• Software: TruControl Power (mehrsprachig) für Betrieb, Konfiguration und Diagnose
• Typische Anwendungen: Dual Magnetron Sputtering, Großflächenbeschichtung, reaktive Prozesse, Dünnschichten für Displays und Photovoltaik