Programmierbarer Plasma-Generator TruPlasma MW Series 1000 /3000 / 5000

HochfrequenzRadiofrequenzPC-steuerbar

Überblick
Leistungsstarker Solid‑State-Mikrowellen‑Plasmagenerator, ausgelegt für sehr hohe Plasmadichten und anspruchsvolle industrielle Prozesse. Die TruPlasma MW Serie basiert auf Solid‑State‑Technologie und erreicht eine deutlich höhere Frequenzgenauigkeit als magnetronbasierte Systeme. Das modulare Plattform‑Konzept ermöglicht eine präzise Skalierung der Ausgangsleistung bei konstanter Stromversorgung und Prozessqualität.

Hauptfunktionen

• Solid‑State‑Mikrowellentechnologie mit hoher Frequenzgenauigkeit
• Modulares Plattformkonzept zur präzisen Skalierung der Ausgangsleistung
• Smartes Auto‑Frequency‑Tuning für automatische Frequenzanpassung und hohe Reproduzierbarkeit
• Synchrone Phasenführung: mehrere Generatoren können phasensynchron und gepulst in Mehrantennensystemen betrieben werden
• Robustes Design für zuverlässigen Betrieb auch bei Fehlanpassungen
• Hochpräzise digitale Frequenzmodulation für reproduzierbare Prozesskontrolle
• Echtzeitkommunikation über EtherCAT für millisekundenschnelle Steuerung und genaue Plasmaverteilung

Anwendungen

• Produktion von Solarzellen: Sputtern, PECVD und andere Beschichtungs/Abtragungsprozesse
• Halbleiterfertigung: Trockenätzen und fortgeschrittene Plasmaprozesse
• Beschichtung von Flachbildschirmen/Displays: PECVD, ALD, RIE und verwandte Prozesse

Vorteile für Prozesse

• Maximale Plasmadichten für anspruchsvolle Anwendungen
• Präzise Energiedosierung und feine Leistungsregelung für hohe Wafer‑to‑Wafer‑Wiederholbarkeit
• Stabile Stromversorgung, die die Prozessqualität auch bei variierenden Bedingungen erhält
• Verbesserte Plasmahomogenität durch Anpassung der Phasenkohärenz zwischen Generatoren

Technische Merkmale / Spezifikationen

• Produktfamilie: TruPlasma MW Serie 1000 / 3000 / 5000
• Beispielmodell auf dieser Seite: TruPlasma MW 3002
• Technologie: Solid‑State Mikrowellen‑Plasmagenerator
• Frequenzsteuerung: hochpräzise digitale Frequenzmodulation
• Auto Frequency Tuning: automatische Anpassung zur Prozessoptimierung
• Mehrgeneratorbetrieb: synchrone Phasensteuerung für Mehrantennensysteme
• Schnittstelle: EtherCAT für Echtzeitkommunikation und Millisekundensteuerung
• Design: modulares Plattformkonzept für skalierbare Ausgangsleistung und hohe Zuverlässigkeit
• Zielbranchen: Halbleiterfertigung, Photovoltaik, Display‑Beschichtung