Plasma-Generator / Hochfrequenz TruPlasma Highpulse Series 4000 (G2)

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Überblick
Der TruPlasma Highpulse Series 4000 (G2) ist ein HiPIMS-Generator, der DC-Sputterquellen in bestehenden Magnetron-Systemen ohne Hardwareänderungen ersetzen kann. Sehr hohe Spitzenleistungen erzeugen extrem dichte Plasmen und hohe Ionenflüsse, um harte, korrosions‑ und verschleißfeste PVD-Beschichtungen zu erzielen.

Wesentliche Merkmale

• Spitzenleistung bis zu 4 MW für sehr hohe Plasmadichte und Ionisation.
• Direkte Anpassung an vorhandene Kathodensysteme und Prozessbedingungen für einfache Integration.
• Im DC-Modus betreibbar; keine externe Gleichstromversorgung erforderlich.
• Kompakte Mono‑Einheit, vollständig wassergekühlt, geeignet für Reinrauminstallation.
• Volldigitales Arc-Management (z. B. CompensateLine CLC) für geringe Arc-Energie und reduzierte Filmmängel.

Anwendungen

• Hartstoffbeschichtungen zum Schutz gegen Korrosion und Verschleiß stark beanspruchter Bauteile.
• Halbleiter und Photovoltaik: angepasste Prozessenergie, hohe Produktivität und stabile Schichteigenschaften.
• Großflächige Glasbeschichtungen für Architektur und Industrie mittels PVD-Plasmaverfahren.
• Ätzen und Trench-Filling in Verbindung mit polarisierten Substraten zur Verbesserung der Schichteigenschaften.

Kundennutzen & Prozessvorteile

• Hohe Prozessstabilität: einstellbare Impulsdauer und Frequenz sowie Leistungsregelung halten konstante Abscheideparameter, auch in reaktiven Prozessen.
• Tropfenfreies Sputtern und minimale Filmmängel durch digitale Arc-Steuerung mit sehr geringer Arc-Energie.
• Einstellbare Impulsparameter und erweiterte Leistungsregelung erhöhen Abscheideraten und reduzieren die Gesamtbetriebskosten.
• Skalierbar vom F&E-Labor bis zur industriellen Großanlage dank hoher Energie- und Spannungsfähigkeit.

Optionen

• CompensateLine (CLC): digitales Arc-Management zur Optimierung von Schichtqualität und Abscheideraten.
• Prozessanpassungsoptionen zur Anpassung an verschiedene Kathodentypen und Anwendungen.

Software

• PVD Power: mehrsprachige Bedienersoftware für Konfiguration, Überwachung und Diagnose; Echtzeit‑Parameteranzeige, Alarme, Sollwertvorgaben und hochauflösende Aufzeichnung (Oszilloskopfunktion) zur Prozessoptimierung und Fehleranalyse.

Hinweise
Komplett wassergekühltes, kompaktes Mono‑Gehäuse; konfigurierbar für prozessspezifische Anforderungen und geeignet für Reinraumbetrieb.

Technische Daten / Spezifikationen

• Spitzenleistung: bis zu 4 MW
• Maximale Spannung: bis zu 2 kV
• Impulsdauer: bis zu 5 ms
• Impulsfrequenz: bis zu 10 kHz
• Modi: HiPIMS und DC
• Kühlung: vollständig wassergekühlt
• Gerätetyp: kompakte Mono‑Einheit (keine externe DC-Versorgung erforderlich)
• Arc-Management: voll digital (CompensateLine CLC verfügbar)
• Software: PVD Power