Radiofrequenzen Plasma-Generatoren

... Kurzbeschreibung
Der luftgekühlte HF‑ Generator TruPlasma RF 1001 Air liefert bis zu 1000 W präzise dosierter, reproduzierbarer HF‑Leistung mit 0,1 W Auflösung (100 mW‑Schritte). Entwickelt für die Halbleiter‑, ...

... Überblick
Leistungsstarker Solid‑State-Mikrowellen‑Plasmagenerator, ausgelegt für sehr hohe Plasmadichten und anspruchsvolle industrielle Prozesse. Die TruPlasma MW Serie basiert auf Solid‑State‑Technologie und erreicht eine deutlich höhere ...

... Überblick Stabile und reproduzierbare Plasmaversorgung für hohe Durchsatzraten. Die TruPlasma RF Serie 1000 / 3000 (G2/13) sind HF‑Generatoren mit moderner Leistungselektronik, präziser Ausgangsregelung und CombineLine‑Matching ...

... Kurzbeschreibung
HF-Technologie ohne Kompromisse. Die TruPlasma RF Serie 3000 ist eine robuste, hocheffiziente Hochfrequenz-Generatorfamilie für stabile, reproduzierbare Plasmaprozesse, wie sie z. B. bei der Herstellung von ...

... Der luftgekühlte HF- Generator TruPlasma RF 1001 Air liefert bis zu 1000 Watt hochgenaue, reproduzierbare HF-Energie mit extrem feiner Auflösung – in 100-mW-Schritten – und ist damit für unterschiedlichste Plasma-Anwendungen ...

... reproduzierbare Plasmastromversorgung an. Hierfür bieten die mit moderner Leistungselektronik ausgestatteten HF-Generatoren der TruPlasma RF Serie 1000 / 3000 (G2/13) die besten Voraussetzungen: Dank ihrer stabilen Ausgangsleistung und ...

... Rampenzeit < 150 ns Dadurch sehr flexible Steuerung des Generator-Zündverhaltens möglich. Smartes Auto Frequency Tuning Automatische Frequenzanpassung für ein optimales Zusammenspiel zwischen Generator und Matchbox. Verlässliche ...

... Mit diesen HF-Generatoren gehen Sie auf Nummer sicher: Die TruPlasma RF Serie 3000 zeichnet sich durch eine robuste Bauweise und hohe Effizienz aus. Damit ist sie bestens geeignet für stabile, reproduzierbare Plasmaprozesse, wie sie beispielsweise ...

... Prozessen. Optimales Zusammenspiel des Gesamtsystems Fortschrittliche Software und verbesserte Kommunikation zwischen Generator und Matchbox. Echtzeitmessung der HF-Leistung Schnelle Nachführung des Systems bei jeder Impedanzveränderung ...

... Da die Halbleiterindustrie auf einen neuen Wendepunkt zusteuert, erfüllt der eVerest® RF- Generator den Bedarf an einer transformativen Plasmasteuerung. Sein konfigurierbares Multi-Level-Pulsing ermöglicht ein sofortiges oder benutzerdefiniertes ...

... Die vielseitige Apex®-Familie von HF-Generatoren und Stromversorgungssystemen zeichnet sich durch ein kompaktes, modulares Design aus, das sich für die Kammermontage eignet. Die Apex-RF-Generatoren und -Stromversorgungssysteme nutzen eine hochentwickelte ...