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Der luftgekühlte HF-Generator TruPlasma RF 1001 Air liefert bis zu 1000 Watt hochgenaue, reproduzierbare HF-Energie mit extrem feiner Auflösung – in 100-mW-Schritten – und ist damit für unterschiedlichste ...
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... reproduzierbare Plasmastromversorgung an. Hierfür bieten die mit moderner Leistungselektronik ausgestatteten HF-Generatoren der TruPlasma RF Serie 1000 / 3000 (G2/13) die besten Voraussetzungen: Dank ihrer stabilen Ausgangsleistung ...
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... Rampenzeit < 150 ns Dadurch sehr flexible Steuerung des Generator-Zündverhaltens möglich. Smartes Auto Frequency Tuning Automatische Frequenzanpassung für ein optimales Zusammenspiel zwischen Generator ...
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Mit diesen HF-Generatoren gehen Sie auf Nummer sicher: Die TruPlasma RF Serie 3000 zeichnet sich durch eine robuste Bauweise und hohe Effizienz aus. Damit ist sie bestens geeignet für stabile, reproduzierbare Plasmaprozesse, ...
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... Da die Halbleiterindustrie auf einen neuen Wendepunkt zusteuert, erfüllt der eVerest™ HF-Generator den Bedarf an einer transformativen Plasmasteuerung. Sein konfigurierbares Multi-Level-Pulsing ermöglicht sofortiges oder ...
ADVANCED ENERGY
... Die vielseitige Apex®-Familie von HF-Generatoren und Stromversorgungssystemen zeichnet sich durch ein kompaktes, modulares Design aus, das sich für die Kammermontage eignet. Die Apex-RF-Generatoren und -Stromversorgungssysteme nutzen ...
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... präzise RF- und Pulssteuerung verbesserte Plasmastabilität und Prozesswiederholbarkeit schnelle Reaktion auf Veränderungen im Plasma flexibilität und Anpassungsfähigkeit für fortschreitende Fertigungstechnologien HALBLEITERANWENDUNGEN pVD pECVD ätzen ...
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... Verbesserte Plasmastabilität und Prozesswiederholbarkeit - Präzise Steuerung der RF-Leistung - Schnelles Reagieren auf Änderungen im Plasma - Leichte Anpassung an spezifische Anwendungsanforderungen ...
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