Programmierbarer Plasma-Generator eVerest RF

Radiofrequenz

Da die Halbleiterindustrie auf einen neuen Wendepunkt zusteuert, erfüllt der eVerest® RF-Generator den Bedarf an einer transformativen Plasmasteuerung. Sein konfigurierbares Multi-Level-Pulsing ermöglicht ein sofortiges oder benutzerdefiniertes Übergangs-Timing. Darüber hinaus sorgt die schnelle, hochpräzise modellbasierte Frequenzabstimmung mit breitem Frequenzsweep-Bereich für mehr Prozessstabilität und -kontrolle. Diese Funktionen sowie eine schnellere Reaktion auf den Sollwert, ein kontrolliertes Überschwingen zu Beginn des Pulszustandes und die hochentwickelte PowerInsight by Advanced Energy™ IoT-Intelligenz ermöglichen Prozessinnovationen für den nächsten Technologieknoten. Merkmale Komplettes HF-Übertragungssystem, mehrere Optionen für Anpassungslösungen und intelligente Synchronisierung Geschwindigkeit und Kontrolle innerhalb programmierbarer mehrstufiger Pulsprofile Hochgeschwindigkeits-RF-Ausgangsreaktion und Puls-Anstiegs-/Abfallzeiten Frequenzabstimmungsbereich von bis zu ±10% Eingebaute dP/dZ-Stabilität PowerInsight by Advanced Energy™ IoT-Ökosystem Vorteile Ermöglicht neuartige Prozessentwicklung für < 2 nm Abscheidungs- und Ätzprofile Bietet eine zuverlässige Zündung mit RF-Stabilität unabhängig von der Kabellänge Lässt sich nahtlos in jedes Plasmasystem integrieren Vergrößert den Prozessraum und erweitert das Stabilitätsfenster Unterstützt durch weltweiten Produkt- und Anwendungssupport von lokalen Servicezentren