Radiofrequenz Plasma-Generator Apex RF

Die vielseitige Apex®-Familie von HF-Generatoren und Stromversorgungssystemen zeichnet sich durch ein kompaktes, modulares Design aus, das sich für die Kammermontage eignet. Die Apex-RF-Generatoren und -Stromversorgungssysteme nutzen eine hochentwickelte RF-Konversionstechnologie und bieten eine verbesserte Produkt- und Prozesszuverlässigkeit. Die hohe Leistungsdichte macht sie ideal für fortschrittliche Plasmaprozesse. Verschiedene Kommunikationsmodelle und konfigurierbare Funktionen ermöglichen es Ihnen, Ihre Plattform individuell zu gestalten und Integrationsansätze zu erkunden. Es sind keine Vorlaufzeiten für kundenspezifische Generatoren erforderlich. Merkmale Hohe Leistungsdichte in einem stromlinienförmigen Design On-Board-Kammermontage, On-Tool-Rahmenmontage, Rackmontage und Schuhkartonoptionen Breitband-Regelkreise Optionale Impulssteuerung Hochgeschwindigkeits-Lichtbogenmanagement Vorteile Leichte Integration von Prozesswerkzeugen mit erhöhter Flexibilität Stabilisierung des Plasmabetriebs Verbesserte Ausbeute durch schnelles Arc-Management Einfaches Anpassen und Konfigurieren für Ihre Prozessanforderungen