PC-steuerbarer Plasma-Generator TruPlasma RF Sériés 1000/3000 (G2/13)

programmierbarHochfrequenzRadiofrequenz

Überblick Stabile und reproduzierbare Plasmaversorgung für hohe Durchsatzraten. Die TruPlasma RF Serie 1000 / 3000 (G2/13) sind HF‑Generatoren mit moderner Leistungselektronik, präziser Ausgangsregelung und CombineLine‑Matching für echte 50 Ω Ausgangsimpedanz.

Hauptvorteile

• Hohe Genauigkeit und Reproduzierbarkeit durch CombineLine mit echter 50 Ω Ausgangsimpedanz.
• Unabhängig von HF-Kabellängen—keine Anpassung der Kabellängen erforderlich.
• Schutz gegen reflektierte Leistung bei Fehlanpassung für sicheren Betrieb.
• Hohe Energieeffizienz—bis zu 80% Wirkungsgrad zur Reduzierung der Energiekosten.
• Lüfterloses Kühlkonzept vermeidet Erwärmung und Verunreinigung der Umgebungsluft, geeignet für Reinraumbetrieb.

Anwendungen Die TruPlasma RF Serie 1000 / 3000 (G2/13) eignet sich für Plasmaprozesse wie RIE, ALD, PECVD und RF‑Sputtern. Typische Einsatzbereiche: Halbleiterfertigung, MEMS, Flachbildschirmbeschichtung und Photovoltaik‑Zellenproduktion.

Kundennutzen & Systemintegration

• Echtzeit‑Matching für schnelle Anpassung der Impedanz auf 50 Ω und Stabilisierung des Plasmas.
• Integrierte Ultra‑Weitbereichsnetzteile (200–480 VAC) vereinfachen die Installation in unterschiedlichen Netzumgebungen.
• Zahlreiche Schnittstellen für die Integration: konfigurierbare Analogschnittstelle, RS‑232/485, DeviceNet, Profibus, EtherCAT.
• Kompakte, leistungsdichte Bauform als 19‑Zoll oder ½‑19‑Zoll Einschub für platzsparende Integration.
• TRUMPF SystemPort ermöglicht Closed‑Loop‑Regelung durch Messung des RF‑Signals an Ein-/Ausgang der Matchbox für bessere Überwachung und frühe Arc‑Erkennung.

Optionen

• Auto Frequency Tuning: patentierte, schnelle simultane Frequenzanpassung zur Optimierung des Zusammenspiels zwischen Generator und Matchbox.
• HF‑Arc‑Management: gezielte Arc‑Erkennung zum Schutz von Produkt und Anlage und zur Maximierung der Produktivität.

Systemkomponenten & Zubehör

• TruPlasma Match Serie 1000 (G2/13) Matchboxen für optimalen Leistungstransfer; autonom oder über SystemPort betreibbar.
• Masteroszillatoren: digitale Frequenz‑ und Phasensynthesizer zur Stabilisierung synchroner Plasmaprozesse (z. B. 13,56 MHz).
• HF‑Umschalter: Mehrfachnutzung eines Generators an verschiedenen Prozessstationen (2/3/4 Ausgänge; verschiedene Leistungsklassen).
• Koaxialkabel: TRUMPF Hüttinger Koaxialkabel für 50 Ω Systeme zur zuverlässigen HF‑Leistungsübertragung.

Hinweise Produktsortiment, Spezifikationen und Verfügbarkeit von Zubehör können länderspezifisch variieren und unterliegen Änderungen.

Caractéristiques / spécifications techniques

• Serie: TruPlasma RF Serie 1000 / 3000 (G2/13)
• Ausgangsimpedanz: 50 Ω (CombineLine‑Technologie)
• Wirkungsgrad: bis zu 80%
• Netzspannung: Ultra‑Weitbereichsnetzteile 200–480 VAC
• Kühlkonzept: lüfterlos (reinraumtauglich)
• Formfaktor: 19‑Zoll oder ½‑19‑Zoll Einschub
• Schnittstellen: konfigurierbar analog, RS‑232, RS‑485, DeviceNet, Profibus, EtherCAT
• Optionen: Auto Frequency Tuning, HF‑Arc‑Management
• Systemfunktionen: TRUMPF SystemPort für Closed‑Loop‑Regelung und frühe Arc‑Erkennung
• Masteroszillator‑Support: 13,56 MHz und weitere Frequenzkombinationen
• Anwendbare Prozesse: RIE, ALD, PECVD, RF‑Sputtern