Programmierbarer Plasma-Generator TruPlasma DC Series 3000 (G2)

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Übersicht
Die TruPlasma DC Serie 3000 (G2) sind kompakte, wassergekühlte Gleichstromgeneratoren für DC-Sputterprozesse und können pulsbetriebene Netzteile ersetzen. Fortschrittliches Arc-Management sorgt für beste Schichtqualitäten und höheren Produktionsertrag. Das sehr kompakte 19-Zoll-Einschubgehäuse ermöglicht einfache Integration in bestehende Anlagen.

Hauptmerkmale

• Niedrigste Arc-Energie in ihrer Klasse: Restenergien < 0,3 mJ/kW für hervorragende Schichtqualität und hohe Abscheidungsraten.
• Hohe Leistungsdichte: Sehr kompakter 19-Zoll-Einschub für einfache Integration auch bei hohen Leistungen.
• Großer Leistungsbereich: Ausgangsleistungen von 20 kW bis 300 kW, ersetzt größere Generatoren.
• Vollständige Wasserkühlung: Erlaubt lange Systemlaufzeiten und reduziert Wartungsaufwand.
• Einfache Systemintegration: Variable Netzspannung (400 V–480 V) und Datenschnittstellen (EtherCAT, EtherNET/IP).

Anwendungen

• Hartstoffbeschichtungen: DC-Magnetron-Sputtern für funktionelle Schichten zur Erhöhung der Oberflächenhärte, Reibungseigenschaften und thermisch/chemischen Stabilität.
• Metallisierung: PVD-Aufbringung hauchdünner, homogener Metallschichten ohne Defekte.
• Solarzellenfertigung: Geeignet für TCO- und andere leitfähige Schichten dank sehr geringer Restenergie.
• Architekturglas: Großflächige Beschichtungen mit hohen Anforderungen an die Prozessstromversorgung.

Kundennutzen

• Kostengünstige Alternative zu gepulsten Generatoren mit verbessertem Produktionsertrag durch fortschrittliches Arc-Management.
• Kompakte Lösung für höhere Leistungen: geringe Stellfläche bei hoher Schichtqualität und Produktivität auch oberhalb von 60 kW.
• Wasserkühlung verlängert Laufzeiten, reduziert Wartung und verhindert Staubkontamination gegenüber luftgekühlten Geräten.

Optionen

• Wasserventil-Steuerung: Reguliert Kühlwasser zur Vermeidung von Kondensation und Überhitzung.
• Schnittstellen: EtherCAT und EtherNET/IP für einfache Einbindung in bestehende Systeme.
• Paralleler Betrieb und Synchronisation: Mehrere Einheiten der TruPlasma DC Serie 3000 (G2) können synchron betrieben werden; bis zu 5 TruPlasma DC 3030 können parallel geschaltet werden und als TruPlasma DC 3150 fungieren.

Software

• PVD Power: Mehrsprachige Bediensoftware für Betrieb, Konfiguration und Diagnose: Ist-Werte, Warnungen/Alarme, Sollwertvorgaben, Aufzeichnung und hochauflösende Visualisierung (Oszilloskop-Funktion).

Downloads

• Produktbroschüre verfügbar (TruPlasma DC Serie 3000 (G2) brochure).

Technische Daten

• Restenergie (Arc): < 0,3 mJ/kW
• Ausgangsleistungsbereich: 20 kW bis 300 kW
• Kühlung: vollständige Wasserkühlung
• Bauform: kompakter 19-Zoll-Einschub
• Netzspannung: variabel 400 V–480 V
• Schnittstellen: EtherCAT, EtherNET/IP (Optionen)
• Parallelschaltung: bis zu 5 x TruPlasma DC 3030 parallel (funktioniert als TruPlasma DC 3150)
• Geeignete Prozesse: DC-Sputtern, Ersatz für gepulstes DC in vielen Sputterprozessen
• Software: PVD Power