Plasma-Generatoren / PVD

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Plasma-Generator / Industrie
Plasma-Generator / Industrie
TruPlasma RF Air Sériés 1000

... Kurzbeschreibung
Der luftgekühlte HF‑ Generator TruPlasma RF 1001 Air liefert bis zu 1000 W präzise dosierter, reproduzierbarer HF‑Leistung mit 0,1 W Auflösung (100 mW‑Schritte). Entwickelt für die Halbleiter‑, Solar‑ und Display‑Fertigung, ...

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TRUMPF lasers
programmierbarer Plasma-Generator
programmierbarer Plasma-Generator
TruPlasma Bipolar Series 4000 (G2.1)

... für plasmagestützte Beschichtungsverfahren wie PVD, PECVD und reaktives Sputtern. Sie bieten formbare, konfigurierbare Ausgangssignale und ein volldigitales Arc‑Management zur Stabilisierung des Plasmas und für reproduzierbare ...

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TRUMPF lasers
programmierbarer Plasma-Generator
programmierbarer Plasma-Generator
TruPlasma MW Series 1000 /3000 / 5000

... Überblick
Leistungsstarker Solid‑State-Mikrowellen‑Plasmagenerator, ausgelegt für sehr hohe Plasmadichten und anspruchsvolle industrielle Prozesse. Die TruPlasma MW Serie basiert auf Solid‑State‑Technologie und erreicht eine deutlich höhere ...

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TRUMPF lasers
PC-steuerbarer Plasma-Generator
PC-steuerbarer Plasma-Generator
TruPlasma RF Sériés 1000/3000 (G2/13)

... Kundennutzen & Systemintegration

  • Echtzeit‑Matching für schnelle Anpassung der Impedanz auf 50 Ω und Stabilisierung des Plasmas.
  • Integrierte Ultra‑Weitbereichsnetzteile (200–480 VAC) vereinfachen die Installation in
...

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TRUMPF lasers
Radiofrequenz Plasma-Generator
Radiofrequenz Plasma-Generator
TruPlasma RF Series 3000

... Kurzbeschreibung
HF-Technologie ohne Kompromisse. Die TruPlasma RF Serie 3000 ist eine robuste, hocheffiziente Hochfrequenz-Generatorfamilie für stabile, reproduzierbare Plasmaprozesse, wie sie z. B. bei der Herstellung von Flachbildschirmen, ...

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TRUMPF lasers
Plasma-Generator / Industrie
Plasma-Generator / Industrie
TruPlasma Arc Series 3000

... Arc‑Kathoden‑Prozesse, entwickelt für anspruchsvolle industrielle Umgebungen. Die Geräte eignen sich für Hartstoff‑ und dekorative PVD‑Beschichtungen und dienen als Energiequelle für hochstromige DC‑Anwendungen wie die Ionenimplantation.

Hauptmerkmale ...

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TRUMPF lasers
programmierbarer Plasma-Generator
programmierbarer Plasma-Generator
TruPlasma DC Series 3000 (G2)

... zur Erhöhung der Oberflächenhärte, Reibungseigenschaften und thermisch/chemischen Stabilität.

  • Metallisierung: PVD-Aufbringung hauchdünner, homogener Metallschichten ohne Defekte.
  • Solarzellenfertigung: Geeignet
  • ...

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    TRUMPF lasers
    Plasma-Generator / Hochfrequenz
    Plasma-Generator / Hochfrequenz
    TruPlasma Highpulse Series 4000 (G2)

    ... ein HiPIMS- Generator, der DC-Sputterquellen in bestehenden Magnetron-Systemen ohne Hardwareänderungen ersetzen kann. Sehr hohe Spitzenleistungen erzeugen extrem dichte Plasmen und hohe Ionenflüsse, um harte, korrosions‑ und verschleißfeste ...

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    TRUMPF lasers
    Plasma-Generator / Hoch -PE-CVD
    Plasma-Generator / Hoch -PE-CVD
    TruPlasma DC Series 4000 (G2)

    ... Synchronisation mehrerer Einheiten möglich.

  • Software: PVD Power für Bedienung, Konfiguration, Diagnose und oszilloskopartige Datenaufzeichnung/Visualisierung.
  • Typische Anwendungen: PVD/PECVD-Hartbeschichtungen,
  • ...

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    TRUMPF lasers
    Plasma-Generator / Hoch -PE-CVD
    Plasma-Generator / Hoch -PE-CVD
    TruPlasma Bipolar 4000 (G2.1)

    ... Prozessstromversorgungen der TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2.1) wurden speziell für die plasmagestützte Beschichtung mittels PVD-, PECVD- und reaktiven Sputter-Prozessen entwickelt und liefern mit flexibel formbaren Ausgangssignalen ...

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    TRUMPF Power electronics
    Plasma-Generator / Mit durchgangigem Impulsstrom
    Plasma-Generator / Mit durchgangigem Impulsstrom
    TruPlasma Highpulse 4000 (G2)

    ... ermöglicht eine optimale Geräteeinbindung. Die erste Wahl für HiPIMS Anwendungen Als neueste Entwicklung bei gepulsten PVD-Sputterprozessen bietet HiPIMS besonders korrosionsbeständige und verschleißfeste Hartstoffbeschichtungen. Für ...

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    TRUMPF Power electronics
    Plasma-Generator / Hoch -PE-CVD
    Plasma-Generator / Hoch -PE-CVD
    TruPlasma DC 4000 (G2)

    ... schwierigen Materialien entwickelt. Die mit gepulstem Gleichstrom arbeitenden Generatoren bewähren sich insbesondere in kritischen PVD- und PECVD-Prozessen, bei denen zugleich höchste Schichtqualität und Produktivität verlangt werden. ...

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    TRUMPF Power electronics
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