Plasma-Generator / Hoch -PE-CVD TruPlasma DC 4000 (G2)

PVD

Die TruPlasma DC Serie 4000 (G2) wurde speziell für das reaktive DC-Sputtern mit schwierigen Materialien entwickelt. Die mit gepulstem Gleichstrom arbeitenden Generatoren bewähren sich insbesondere in kritischen PVD- und PECVD-Prozessen, bei denen zugleich höchste Schichtqualität und Produktivität verlangt werden. Die kompakten DC-Prozessstromversorgungen sind sowohl im gepulsten als auch im Bias-Betrieb einsetzbar – sozusagen zwei Geräte in einem Gehäuse! Hohe Schichtqualität und Produktivität Digitale Signalverarbeitung garantiert stabile Prozesse und minimale Arc-bedingte Zeitverluste. Beste Ergebnisse auch in kritischen Prozessen Schnelle Arc-Behandlung in Kombination mit DC-Pulstechnologie minimiert Substratschädigungen. Einfache Prozessanpassung Dank breitem Frequenzspektrum und anpassbarer Reverse-Voltage. Kompakte und robuste Bauweise Die integrierte Wasserkühlung spart Platz und reduziert den Wartungsaufwand.