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... Kurzbeschreibung
Der luftgekühlte HF‑
Generator TruPlasma RF 1001 Air liefert bis zu 1000 W präzise dosierter, reproduzierbarer HF‑Leistung mit 0,1 W Auflösung (100 mW‑Schritte). Entwickelt für die Halbleiter‑, Solar‑ und Display‑Fertigung, ...
TRUMPF lasers
... Sputtern. Sie bieten formbare, konfigurierbare Ausgangssignale und ein volldigitales Arc‑Management zur Stabilisierung des
Plasmas und für reproduzierbare Schichtergebnisse.
Hauptmerkmale
- Volldigitales Arc‑Management
TRUMPF lasers
... Überblick
Leistungsstarker Solid‑State-Mikrowellen‑Plasmagenerator, ausgelegt für sehr hohe Plasmadichten und anspruchsvolle industrielle Prozesse. Die TruPlasma MW Serie basiert auf Solid‑State‑Technologie und erreicht eine deutlich höhere ...
TRUMPF lasers
... Kundennutzen & Systemintegration
- Echtzeit‑Matching für schnelle Anpassung der Impedanz auf 50 Ω und Stabilisierung des Plasmas.
- Integrierte Ultra‑Weitbereichsnetzteile (200–480 VAC) vereinfachen die Installation in
TRUMPF lasers
... Kurzbeschreibung
HF-Technologie ohne Kompromisse. Die TruPlasma RF Serie 3000 ist eine robuste, hocheffiziente Hochfrequenz-Generatorfamilie für stabile, reproduzierbare Plasmaprozesse, wie sie z. B. bei der Herstellung von Flachbildschirmen, ...
TRUMPF lasers
... Kurzbeschreibung
Die TruPlasma DC Serie 4000 (G2) ist ein gepulstes DC-Netzteil, entwickelt für reaktives DC-Sputtern anspruchsvoller Materialien. Es unterstützt sowohl gepulsten als auch Bias-Betrieb und liefert stabile Plasmaeigenschaften ...
TRUMPF lasers
... Einstellbare Wellenformen Einfache Anpassung an unterschiedliche Prozesse durch Variation des Ausgangssignals. Ein Generator, viele Anwendungen DC, gepulstes DC und Bipolar: Kostenersparnis dank vielfältiger Einstelloptionen. Integrierte ...
TRUMPF Power electronics
Die TruPlasma DC Serie 4000 (G2) wurde speziell für das reaktive DC-Sputtern mit schwierigen Materialien entwickelt. Die mit gepulstem Gleichstrom arbeitenden Generatoren bewähren sich insbesondere in kritischen PVD- und PECVD-Prozessen, bei denen zugleich ...
TRUMPF Power electronics
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