Umfassendes Angebot an metallionenhaltigen (MIC) und metallionenfreien (MIF) Entwicklern für Positiv- und Negativresistsysteme
FUJIFILM Electronic Materials bietet sowohl gebrauchsfertige (RTU) als auch konzentrierte Positiventwickler für fortschrittliche Positiv-Photoresist-Systeme an, die für die Immersions- und Inline-Spurentwicklung geeignet sind.
Produktpalette
Bei den Positiventwicklern handelt es sich um TMAH-basierte Entwickler mit verschiedenen Qualitätsstufen, einschließlich der ultrahochreinen Stufe für moderne Halbleiteranwendungen. Die Produkte sind mit oder ohne Tensid erhältlich und können auch als Konzentrat für Kunden mit Mischmöglichkeiten vor Ort gekauft werden.
Gebrauchsfertige Produkte
Entwickler ohne Tensid (TMAH 2,38 Gew.-%)
Entwickler mit Tensid (TMAH 2,38 Gew.-%)
Konzentrierte Produkte (Verdünnung durch den Kunden erforderlich)
TMAH 24,9% Konzentrat
10% TMAH mit Tensid*1
*1 Konzentriertes TMAH und Tensid, vorgemischt zur Verdünnung durch den Kunden
Merkmale und Vorteile
Hochreine Optionen für moderne Halbleiteranwendungen
Konzentrat- und Bulk-Lieferoptionen für die Herstellung großer Mengen
EUV-Anwendungen
Verpackungs-Optionen
1000-Liter-Behälter (Einweg oder Mehrweg)
200-Liter-Fässer (Einweg- oder Mehrwegverpackung)
Bulk-Lieferung (abhängig vom Standort)
4 x 4L-Flaschen
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