Entwickler für lichtempfindliches Harz OPD series

Overview FUJIFILM Electronic Materials bietet ein umfassendes Sortiment an TMAH‑basierten Entwicklern für positive und negative Fotolacke. Verfügbar als Ready-to-Use (RTU) und als Konzentrate, geeignet für Tauch‑ und In-line‑Track‑Entwicklung in der Halbleiterfertigung.

Product Lineup

• Ready-to-Use (RTU) Produkte
  • Entwickler ohne Tensid (TMAH 2.38 wt%)
  • Entwickler mit Tensid (TMAH 2.38 wt%)
• Konzentrate
  • TMAH 24,9% Konzentration (erfordert Verdünnung durch Kunden)
  • 10% TMAH mit Tensid (vorgemischtes Konzentrat zur Verdünnung)
• Modellbeispiele
  • OPD 262 — tensidfreier Entwickler
  • OPD 4262 — Entwickler mit breit kompatiblem Tensid
  • OPD 4280 — Entwickler mit breit kompatiblem Tensid
  • WNRD — Entwickler für negative Resist

Features & Benefits

• Mehrere Reinheitsgrade, einschließlich Ultra‑High‑Purity für fortgeschrittene und EUV‑Anwendungen
• RTU‑ und Konzentratformate für Standardprozesse und Vor‑Ort‑Verdünnung
• Kompatibel mit Tauch‑ und In‑Line‑Track‑Entwicklung
• Tensid‑Optionen zur Anpassung an Resist und Prozess
• Bulk‑Versorgung und Konzentrate für die Großserienfertigung

Packaging & Delivery

• 1000 L IBC (Einweg oder retourierbar)
• 200 L Fässer (Einweg oder retourierbar)
• Bulk‑Lieferung (standortabhängig)
• 4 x 4 L Flaschen

Technical Specifications

• Chemische Basis: TMAH (Tetramethylammoniumhydroxid)
• Produkttypen: RTU (z. B. TMAH 2.38 wt%) und Konzentrate (z. B. 24,9% TMAH; 10% TMAH mit Tensid)
• Anwendungen: positive und negative Resist‑Systeme; Tauch‑ und In‑Line‑Track‑Entwicklung; EUV‑kompatibel
• Tensid: verfügbar mit oder ohne
• Reinheitsgrade: Standard bis Ultra‑High‑Purity
• Lieferoptionen: Konzentrat, Bulk, Fässer, IBC, kleine Gebinde

Ordering & Support

• Individuelle Verpackungen und Verdünnungsunterstützung für Großkunden verfügbar
• Kontaktieren Sie FUJIFILM Electronic Materials für Muster, technische Datenblätter und regulatorische Informationen