ÜbersichtUmfangreiche Palette spezieller Lösungsmittelmischungen für Photoresist Edge Bead Removal (EBR), Nacharbeit, Spülen und Pre-Wet-Anwendungen. Fujifilm bietet Lösungsmittel mit ultra-hoher Reinheit und kundenspezifische Mischungen zur Erfüllung strenger Lithografie-Anforderungen an Partikel-, Spurenmetall- und organische Kontaminanten-Kontrolle.
Produktübersicht- Alkohole und Ketone
- Methanol
- Aceton
- MEK
- Ethanol
- IPA
- MIBC
- MIBK
- Cyclopentanone
- Cyclohexanone
- Acetate, Lactone und Ether
- EUV-Lösungsmittel und kundenspezifische Mischungen
- EUV-spezifische Lösungsmittel und kundenspezifische Formulierungen (bitte Ihren Fujifilm Account Manager konsultieren)
Eigenschaften & Vorteile- Ultra-hohe Reinheitsgrade zur Reduzierung von Defekten und Kontamination
- EUV-optimierte Lösungsmittel für verbessertes Patterning und reduzierte Resist-Aufquellung
- Unterstützung für kundenspezifische Prozesse und Mischungen
- Fortschrittliche analytische Prüfungen zur Sicherstellung von Reinheit und Konsistenz
- Regionale Fertigung und Verpackung in den USA, Europa und Asien
- Verpackungsoptionen:
- Glasflaschen 1–4 L
- NOWPak
- Fässer: Edelstahl, PFA, HDPE
- IBC: Edelstahl, PFA, HDPE
- ISOtainer
Technische Daten- Marke: Fujifilm
- Produktname / Serie: NTI Developers
- Vorgesehene Anwendungen: Edge Bead Removal (EBR), Nacharbeit, Spülen, Pre-Wet-Anwendungen für Photoresist-Prozesse
- Verfügbare chemische Familien: Alkohole, Ketone, Acetate, Lactone, Ether, EUV-spezifische Lösungsmittel
- Repräsentative Chemikalien: Methanol, Aceton, MEK, Ethanol, IPA, MIBC, MIBK, Cyclopentanone, Cyclohexanone, PGME, PGMEA, GBL, EL, nBA
- Reinheit/Qualität: Ultra-hohe Reinheitsgrade; Produkte erfüllen globale Standards für Partikel, Spurenmetalle und organische Kontaminanten
- Personalisierung: Kundenspezifische Lösungsmittelmischungen und Prozessunterstützung verfügbar
- Fertigung & Verpackung: Regionale Fertigung (USA, Europa, Asien); Verpackungsoptionen: Glasflaschen (1–4 L), NOWPak, Fässer (Edelstahl, PFA, HDPE), IBC (Edelstahl, PFA, HDPE), ISOtainer
- Analytische Absicherung: Einsatz modernster analytischer Werkzeuge zur Verifizierung von Reinheit und Qualität
- Markenhinweis: NOWPak ist eine Marke oder eingetragene Marke von Entegris, Inc. in den Vereinigten Staaten und/oder anderen Ländern