Die FUJIFILM-Familie von Fotolack-Strippern bietet sowohl für die Aluminium- als auch für die Kupfertechnologie verschiedene Verarbeitungsmöglichkeiten und Leistungsvorteile gegenüber den derzeitigen Industriestandards. Diese Materialien werden für die Nassentfernung von Massen- und Dickschicht-Fotoresist in Einzelwafer- und Batch-Prozessen verwendet.
Produktpalette
Positiv- und Negativ-Photoresist-Entferner und Post-Etch-Rückstandsentferner.
Auf DMSO-Basis
Microstrip™ 3001 : breit einsetzbarer Bulk-Fotoresist-Stripper
Microstrip™ 3200 : mildsaures, aminfreies Abbeizmittel mit ausgezeichneter Metallverträglichkeit
Microstrip™ 6800: für Einzelwafer geeignetes Abbeizmittel für Fotoresist mit verbesserter Reinigungsleistung bei stark vernetztem Fotoresist
Microstrip™ 6310: Hochleistungs-Cu-kompatibler Fotoresist-Stripper
Microstrip™ 6365: Hochleistungs-Fotoresist-Stripper, der mit verschiedenen Metallen, einschließlich Al und Cu, kompatibel ist
Stripper für die Entfernung von negativem Photoresist
Microstrip™ V
Stripper für die Entfernung von positivem und negativem Photoresist
Gensolve 470
Eigenschaften & Vorteile
FUJIFILMs Fotolack-Stripper sind auf optimale Leistung, niedrige Betriebskosten und minimale Auswirkungen auf Umwelt und Gesundheit ausgelegt
Verpackungsoptionen:
4 x 4L Flaschen
1 x 20-Liter-Kanister
200-Liter-Fässer (Einweg und Mehrweg)
1000L IBC's
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