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Lichtempfindliches Harz ArFfür Halbleiter
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Eigenschaften
- Anwendung
- für Halbleiter
- Weitere Eigenschaften
- lichtempfindlich
Beschreibung
Materialien für die positive Trocken- und Immersionsbildgebung und die Negativtonbildgebung (NTI)
Merkmale und Vorteile
Breites Spektrum an hochauflösenden Bildgebungssystemen für die Belichtung bei 193 nm, einschließlich positiver Trocken- und Immersionsbildgebung und Negativtonbildgebung (NTI)
- Hoher Durchsatz
- Hervorragende Auflösung
- Breite Prozessfenster
- Niedrige Defektniveaus
- Vertikale Profile
- Baureihe GAR
Die Produkte der GAR-Serie sind für eine Vielzahl von Anwendungen geeignet, die eine 193nm-Trockenbelichtung erfordern.
- FAiRS-Serie für PTI (Positivtondarstellung)
Die Produkte der FAiRS-Serie eignen sich für eine Vielzahl von Anwendungen, die eine 193nm-Immersionsbelichtung und Positivton-Bildgebung erfordern.
- FAiRS-Serie für NTI (Negativton-Bildgebung)
Die Produkte der FAiRS-Serie eignen sich für eine Vielzahl von Anwendungen, die eine 193nm-Immersionsbelichtung und Negativton-Bildgebung erfordern.
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Kataloge
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* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.