Harz für Halbleiter ArF

lichtempfindlichTauchfür Hochleistungsanwendungen

Übersicht
Materialien für positive Trocken‑ und Immersionsbildgebung sowie für Negative Tone Imaging (NTI). Entwickelt für hochauflösende 193‑nm‑Belichtung mit Varianten für Trocken‑ und Immersionsprozesse.

Produktpalette

• GAR Series: Produkte der GAR Series geeignet für Anwendungen mit 193 nm Trockenbelichtung.
• FAiRS Series for PTI (positive tone imaging): FAiRS Produkte für 193 nm Immersionsbelichtung mit positiver Tonalität.
• FAiRS Series for NTI (negative tone imaging): FAiRS Produkte für 193 nm Immersionsbelichtung mit negativer Tonalität.

Eigenschaften & Vorteile

• Hoher Durchsatz
• Überlegene Auflösung
• Große Prozessfenster
• Niedrige Defektraten
• Vertikale Profilkontrolle

Eigenschaften / Technische Daten

• Wellenlänge: 193 nm
• Bildgebungsmodi: positiv trocken, Immersion (PTI), Negative Tone Imaging (NTI)
• Produktserien: GAR Series (dry), FAiRS Series (PTI und NTI)
• Entwickelt für hochauflösende Bildgebung mit großen Prozessfenstern und niedrigen Defektraten