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Wiederholbarkeit: 0,5 µm - 2 µm
Hub: 100 mm - 600 mm
Geschwindigkeit: 25 mm/s - 200 mm/s
... 200 mm (XY) / 25 - 50 mm (Z) - Max. Last: 20 N (Z) - Antrieb: Linearmotor (eisenlos), Luftlager (XY) | Kugelgewindetrieb, DC-Motor, Kreuzrolle (Z) - Feedback: Linearmesssystem - Motion Controller: ...
Steinmeyer Holding GmbH
Wiederholbarkeit: 0,3 µm - 0,4 µm
Ladung: 15 kg
Hub: 200 mm - 1.000 mm
... - Max. Last: 100 N (X) / 500 N (Y) / 150 N (Z) - Antrieb: Linearmotor (eisenlos), Luftlager (XY) | Kugelgewindetrieb, DC-Motor, Kreuzrolle (Z) - Feedback: Linearmesssystem - Motion Controller: FMC-250/280, ...
Steinmeyer Holding GmbH
Wiederholbarkeit: 0,2 µm - 2 µm
Ladung: 15 kg
Hub: 10 mm - 600 mm
... - 20 mm (Z) - Max. Last: 150 N (Z) - Antrieb: Linearmotor (eisenbehaftet), Profilschiene (XY) | Kugelgewindetrieb, DC-Motor, Kreuzrolle (Z) - - Feedback: Linearmesssystem - Motion Controller: ACS, ...
Steinmeyer Holding GmbH
Wiederholbarkeit: 1 µm
Ladung: 30 kg
Hub: 300 mm
... XY-Tische mit offenem Rahmen und niedrigem Profil für ein breites Spektrum an automatisierten, präzisen Positionierungen in mikroskopbasierten Anwendungen. Der Antriebsmechanismus befindet sich an der Seite des Geräts und bietet eine ...
Wiederholbarkeit: 0,5, 0,15, 0,25, 0,1 µm
Ladung: 30 kg
Hub: 27,5, 25, 14 mm
... Referenzierung beim Einschalten erforderlich, Effizienz und Sicherheit im Betrieb können gesteigert werden. Bürstenloser DC-Motor (BLDC) Bürstenlose DC-Motoren eignen sich besonders ...
... Bus-Schnittstellen Das Positioniersystem PSE 21x-8 ist eine Kompaktlösung, die durch ihre integrierte Intelligenz die zentrale Steuerung entlastet. Die automatische Verstellung von Hilfs- und Stellachsen erreicht der ...
... XY- und XZ-Systeme mit verschiedenen Linearmotor-Achsen XY- und XZ-Systeme, die mit Standard-Linearmotorachsen aufgebaut sind, sind Bewegungssteuerungssysteme, die in einer Vielzahl von Automatisierungsanwendungen eingesetzt werden. Diese ...
Wiederholbarkeit: 1,5, 5,5 µm
Hub: 76 mm
Geschwindigkeit: 50 mm/s
Yield-Maximierung im kleinsten Bauraum Dieses hochpräzise Positioniersystem ist speziell als ergänzender Polarisationsfilter für die Miniaturisierung und Automatisierung in der EUV-Lithografie entwickelt worden. Dieser ...
Steinmeyer Mechatronik GmbH
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