Nano-Positioniersysteme

Wiederholbarkeit: 50 nm
Hub: 11, 6 mm

... Basisplatte von nur 70 mm und einem Gewicht von lediglich 200 g. Der SMARPOD 70.42 ist das kompakteste Hexapod-artige Positioniersystem mit einem Basisplattendurchmesser von nur 70 mm. Trotz seiner Kompaktheit handelt ...

Wiederholbarkeit: 50 nm
Hub: 11, 20 mm

Der mittelgroße SMARPOD 110.45 hat einen Durchmesser der Basisplatte von 110 mm und bietet einen Verfahrweg von 20 mm in X- und Y-Richtung. Der SMARPOD 110.45 kann Nutzlasten von bis zu 5 N positionieren und bietet einen Verfahrweg ...

Wiederholbarkeit: 50 nm
Hub: 42, 24 mm

Der SMARPOD 225.75 hat einen Durchmesser der Basisplatte von 225 mm und bietet einen Verfahrweg von 42 mm in X- und Y-Richtung. Der SMARPOD 225.75 kann Nutzlasten von bis zu 5 N positionieren. Er gehört zu den größeren SmarAct SMARPODs ...

Wiederholbarkeit: 50 nm
Hub: 30, 50, 10 mm

Der mittelgroße SMARPOD basiert auf den SLC-17 Positionieren in einer parallelen Anordnung und bietet einen Verfahrweg von 50 mm in X-Richtung. Der SMARPOD P-SLC-17 kann Nutzlasten von bis zu 5 N positionieren. Er basiert auf einem ...

Wiederholbarkeit: 50 nm
Hub: 17, 102, 62 mm

Der große SMARPOD basiert auf den SLC-24 Positionieren in einer parallelen Anordnung und bietet einen Verfahrweg von 102 mm in X-Richtung. Der SMARPOD P-SLC-24 kann Nutzlasten von bis zu 5 N positionieren. Er basiert auf einem anderen ...

Wiederholbarkeit: 100 nm
Hub: 17, 62, 330 mm

Der große SMARPODP-CLL basiert auf drei CLL-Positionierern, die als Schlitten auf einer langen Achse laufen und bietet dadurch einen Verfahrweg von 330 mm in X-Richtung. Der SMARPOD P-CLL verwendet SLC-Positionierer für die Bewegung ...

Closed-Loop Nanoprobing der nächsten Stufe Außergewöhnliche Merkmale Closed-loop Positionierung mit 1 nm Auflösung Aktives Halten der Position Großer Scanbereich und geringer thermischer Drift Großflächiges Probing auf vollen ...

Positionierung, Manipulation, Bearbeitung und Messung von Objekten und Strukturen mit Nanometergenauigkeit • weltweit präziseste Nanopositionier- und Nanomessmaschine • Mess- und Positionierbereich 25 × 25 × 5 mm • Auflösung 0,1 nm • ...

Planares laserinterferometrisches Mess- und Positioniersystem für AFM • 2,5 D-Positionier- und Messsystem höchster Genauigkeit • Mess- und Positionierbereich: Fläche Ø 100 mm • Laterale Messauflösung ≤ 0,02 nm • Steuerung: ...