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Wiederholbarkeit: 50 nm
Hub: 62, 102, 17 mm
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... Lasers wird über Lichtwellenleiter von der Elektronikeinheit zu den Interferometerköpfen geleitet. Dies ermöglicht einen kompakten und temperaturstabilen Aufbau der Nanopositionier- und Nanomessmaschine.
Planares laserinterferometrisches Mess- und Positioniersystem für AFM • 2,5 D-Positionier- und Messsystem höchster Genauigkeit • Mess- und Positionierbereich: Fläche Ø 100 mm • Laterale Messauflösung ≤ 0,02 nm • Steuerung: ...
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