XYZ-Positioniersystem 217999

linearfür Wafer-Inspektion und Metrologiemit DC-Motor

XYZ Messsystem für variable und bewegte Lasten | XY Kugelgewinde, Kreuzrolle, DC-Motor, Linearmessystem Hochpräzise Messungen auch bei variablen Lasten Dieses XYZ Positioniersystem wurde speziell für hochpräzise Messungen von variablen Lasten und bewegten Objekten entwickelt. Die kundenspezifische Kamera bzw. Sensor an der Z-Achse der Traverse vermisst den Prüfling auf dem unten befindlichen Kreuztisch. Müssen nacheinander Objekte unterschiedlicher Gewichtsklassen vermessen werden, kommen herkömmliche Messtische schnell an ihre Grenzen. Dieses XYZ Messsystem schafft hier Abhilfe. Perfekte Ebenheit und Geradheit bei Proben bis 30 kg · Ideal zur Teilevermessung oder der Aufnahme von 3D-Profilen an hohen Teilen · Lastunabhängige hochpräzise Messungen von ± 1 µm, auch bei bewegtem Messobjekt · Drastische Reduktion von Messfehlern auf unter 5 µrad · Perfekte Geradheit mit ± 0.5 µm und Ebenheit bei ± 1 µm · Ebenheitsunabhängiges Interface sowie Justagemöglichkeiten Optional konfigurierbar: · Verschiedene Motorvarianten: DC-Motor oder Schrittmotor · Rotatorische Bewegungen in Kombination mit DT130 oder DT200 · Sonderkonfiguration für Biotechnologie, Medizintechnik, Pharma, Halbleiter · Ausführungen für Reinraum ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage) · Gebrauchsfertige Steuerung mit vorkonfigurierten Controller inkl. Beispielsoftware