XY-Positioniersystem 782344:025.26

linearDoppel-Schwenkzapfenfür Reinraum

Doppel XY Linearachse zur hochpräzisen Justage von Linsen für Wafer Stepper | ultrafeine UV-Belichtung im Reinraum - Serienbaugruppen Hochpräzise Verstellung zweier Optiken Diese hochpräzise Doppel-Linearachse wurde speziell für Wafer-Stepper entwickelt. Zwei Linsen können sowohl relativ zueinander als auch gemeinsam miteinander positioniert werden, um noch feinere Strukturen bei der UV-Belichtung zu realisieren. Diese Lösung besteht aus zwei Verschiebeachsen auf einem gemeinsamen Führungssystem. Dabei haben zwei bewegte Schlitten jeweils drei Wagen, wodurch sie teilweise ineinander fahren können, um die Linsen möglichst eng zusammenzufahren. Ultrafeine Belichtung in extrem trockener Umgebung • Speziell für die Maximierung des Yield sowie der Auflösung von Wafer-Stepper-Systemen • Gleichzeitige Positionierung von Linsen zueinander als auch miteinander über einen Verfahrweg von 350 mm • Genauigkeiten von 1.5 µm unter extrem trockenen Reinraumbedingungen • Einfache Wartung durch eine austauschbare Motor-Encoder-Baugruppe Besonderheiten: • UV-Verträglichkeit • Polierte Flächen • Ausführungen für Reinraum ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage) • Gebrauchsfertige Steuerung mit vorkonfigurierten Controller inkl. Beispielsoftware