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XYZ-Positioniersystem 782300:199.26
4-Achslinearfür Wafer-Inspektion und Metrologie

XYZ-Positioniersystem
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Eigenschaften

Achszahl
XYZ, 4-Achs
Aufbau
linear
Verwendung
für Wafer-Inspektion und Metrologie, für Reinraum, Leiterplatten
Weitere Eigenschaften
mit DC-Motor, mit Linearmotor

Beschreibung

Universelles 4-achs-Granitportal mit Reinraumgehäuse Dieses XYZ Phi Positioniersystem lässt sich für verschiedene Test- und Prüfprozesse in der Halbleiter- und Elektronikfertigung bis Reinraum Klasse ISO 2 einsetzen. Aufgrund der Auslegung der Verfahrwege auf bis 320 x 320 mm in XY eignet er sich für alle Standard-Wafergrößen bis 12-Zoll. Die Proben werden hochpräzise mit dem linearmotorgetriebenen Kreuztisch KT405-320-EDLM zu einem Laser, Sensor oder Kamera in der Z-Achse manipuliert. Die Justage des Sensors bzw. Kamera erfolgt in vertikaler Bewegung (maximal 50 mm) mit dem Präzisionsmesstisch PMT160-050-DC-R/L, der optional mit einem Schwenkeinheit ergänzt werden kann. Hochpräzise Prüfung in anspruchsvollen Reinräumen • Ideal für anspruchsvolle Test- und Prüfprozesse in der Halbleitertechnik, Biotechnologie und Pharmaindustrie • Schnelle Anpassung an unterschiedlichen Mess- und Prüfaufgaben • Hochpräzise Vermessung mit Wiederholgenauigkeiten bis 0.3 µm bei hohen Geschwindigkeiten bis 100 mm/s • Sicherungskonzept mit Schutzhaube • Emissionsfreiheit bis Reinraum ISO Klasse 2 • Lieferung des Systems mit Granitbasis auf Dämpfern, Stahlgestell inkl. Steuerung komplett mit Schutzhaube und lackierten Gehäuse Optional erweiterbar: • Ausführungen ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage) • Schwenkarm für Sensor mit dem Drehachse DT200 • Grundplatte aus Granit oder Aluminium • Weitere Verfahrwege und unterschiedliche Proben • Anpassbar für die Integration in automatisierte Prozesse • Gebrauchsfertige Steuerung mit vorkonfiguriertem Controller inkl. Beispielsoftware

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OEM-Positioniersysteme

* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.