ÜberblickHermetische Keramik‑zu‑Metall und Glaskeramik‑zu‑Metall Mehrpol‑Durchführungen bieten dichte elektrische und instrumentelle Verbindungen in Hochvakuum‑ und Ultrahochvakuum‑(UHV)Umgebungen. Für Inline‑Steckverbindungen mit externen Steckern ausgelegt, erlauben einige Varianten Steckerseite auf Luft‑ und Vakuumseite zur vereinfachten Montage und Wartung.
Anwendungen- Halbleiter‑Prozessanlagen
- Analytische Prüf‑ und Messgeräte
- Druckaufnehmer und Sensoren
- Mess‑ und Regeltechnik in der Energieerzeugung
- Teilchenbeschleuniger
- Hochtemperaturöfen
- Forschungseinrichtungen im Energiebereich
Materialien und AufbauDie Steckteile werden aus hochreinen, vakuumverträglichen Materialien gefertigt. Die Isolatoren bestehen aus hochfesten, verlustarmen Aluminiumoxidkeramiken (94%–99% Al2O3), metallisiert durch Refraktärmetall‑Sinterverfahren. Struktur‑ und Kupplungsteile sind in Kovar®, Edelstahl, Nickel‑Eisen‑Legierungen, Kupfer‑Nickel‑Legierungen, Molybdän und Alumel® erhältlich. Die Baugruppen werden mit Kupfer‑, Gold‑Kupfer‑ oder Silber‑Kupfer‑Legierungen gebranzt, um Dichtheit zu gewährleisten.
Keramik‑zu‑Metall Dichtmaterialien- 94%–99% Al2O3 — Kovar — Kupfer‑Brazing
- 94%–99% Al2O3 — Edelstahl — Gold‑Kupfer‑Brazing
- 94%–99% Al2O3 — Nickel‑Eisen‑Legierung — Silber‑Kupfer‑Brazing
- 94%–99% Al2O3 — Kupfer‑Nickel‑Legierung — (Brazing‑Option)
- 94%–99% Al2O3 — Molybdän — (direkte Dichtungsoption)
Vorteile- Hermetische Abdichtung geeignet für Hochvakuum und UHV
- Hohe Spannungsfestigkeit >12 kV DC
- Hohe Strombelastung bis 40 A pro Pin
- Dichtheitsprüfung auf 1×10⁻¹⁰ mbar·L/s He
- Betriebstemperaturbereich von −250°C bis +450°C
- RoHS‑konforme Materialien und Verfahren, sofern anwendbar
- Kundenspezifische Konfigurationen verfügbar
Technische Daten- Produkttyp: Keramik‑zu‑Metall und Glaskeramik‑zu‑Metall Mehrpol‑Durchführungen (≥2 Leiter)
- Keramischer Isolator: 94%–99% Al2O3 (Aluminiumoxid)
- Metalle: Kovar®, Edelstahl, Nickel‑Eisen‑Legierungen, Kupfer‑Nickel‑Legierungen, Molybdän, Alumel®
- Löt‑/Brazing‑Materialien: Kupfer, Gold‑Kupfer, Silber‑Kupfer‑Legierungen
- Elektrisch: Spannung >12 kV DC; Strom bis 40 A pro Pin
- Vakuumleistung: Hermetisch; Dichtheitsprüfung 1×10⁻¹⁰ mbar·L/s He; geeignet für HV und UHV
- Temperaturbereich: −250°C bis +450°C
- Konformität: RoHS sofern anwendbar
- Anpassung: Verfügbar zur Erfüllung spezifischer Anforderungen