Kaltkathoden-Vakuummeter

Ionisationmit Heißkathode

Übersicht
Das Hochvakuum-Ionisationsmessgerät von INNOVACERA misst den Vakuumgrad in Labor-, Industrie- und Forschungssystemen. Es ionisiert Gasmoleküle in einer speziellen Kammer und misst den resultierenden Ionen-/Elektronenstrom, um die Gasdichte und den Vakuumgrad zu bestimmen. Erhältlich in den Ausführungen Glühkathode, Kaltkathode und radioaktive Quelle, abhängig von Anwendung und Druckbereich.

Funktionsprinzip
Das Messgerät besteht aus einer Ionisationskammer und einem Elektronen-/Ionenkollektor. In die Kammer eintretende Gasmoleküle werden durch Heizdrähte, Elektronenstrahlen oder andere Ionisationsquellen ionisiert. Positive Ionen (oder Elektronen, je nach Bauart) werden im elektrischen Feld gesammelt und erzeugen einen messbaren Strom, der proportional zur Dichte der Gasmoleküle ist. Ein Anstieg des gemessenen Stroms entspricht einer höheren Gasdichte (niedrigeres Vakuum); ein Abfall weist auf eine geringere Gasdichte (höheres Vakuum) hin.

Messbereich

• Bei sehr niedrigen Drücken hohe Spannung und größere Ionisationskammer verwenden
• Bei höheren Drücken niedrige Spannung und kleinere Kammer verwenden

Nennmessbereich: 0,1 ~ 10^-8 Pa

Technische Daten

• Produkttyp: Hochvakuum-Ionisationsmessgerät
• Hersteller: INNOVACERA
• Messprinzip: Ionisation von Gasmolekülen in einer Kammer mit Sammlung geladener Teilchen; Messung des resultierenden Stroms proportional zur Gasdichte
• Ionisationsmethoden: Glühkathode (geheizter Draht), Kaltkathode, Elektronenstrahl, radioaktive Quelle (typabhängig)
• Empfohlener Betrieb: hohe Spannung + große Kammer für sehr niedrige Drücke; niedrige Spannung + kleine Kammer für höhere Drücke
• Nennmessbereich: 0,1 ~ 10^-8 Pa

Anwendungen

• Vakuumsysteme in Laboren und Forschungseinrichtungen
• Industrielle Vakuumprozesse: Dünnschichtabscheidung, Halbleiterfertigung, Oberflächenbehandlung
• Vakuummetrologie und Kalibrierlabore

Installation und Wartung
Das Messgerät an einer kompatiblen Vakuumflansch mit geeigneten elektrischen Durchführungen und Erdung montieren. Sauberkeit sicherstellen, um Verunreinigungen der Ionisationskammer zu vermeiden. Regelmäßig gegen eine Referenz kalibrieren. Filamente oder radioaktive Quellen gemäß Herstellerangaben austauschen und Sicherheitsvorschriften für radioaktive Typen beachten.