Der Quadrupol-Massenfilter von Innovacera, abgekürzt als Quadrupol, ist das Kernstück des Quadrupol-Massenspektrometers. Er besteht in der Regel aus vier parallelen zylindrischen oder hyperbolischen Metallstäben. Zwei Paar Elektroden werden angewendet: Gleichspannung (DC, U) und Hochfrequenzspannung (RF, V·cos(ωt)). Der Quadrupol-Massenanalysator trennt Ionen basierend auf der Stabilität der Ionentrajektorie im oszillierenden elektrischen Feld.
Strukturparameter-Tabelle:
- Materialoptionen: Keramik vergoldet/Edelstahl/Molybdän
- Stabdurchmesser: 2-16mm
- Stablänge: 100-300mm
- Basis: Aluminiumoxidkeramik/Glaskeramik bearbeitbar
- Gesamte Genauigkeit: ≤3μm
Eigenschaften des 99% Aluminiumoxid-Keramikmaterials:
- Farbe: Elfenbein
- Hauptmerkmale: Hervorragende Plasmakorrosionsbeständigkeit, hohe Verschleißfestigkeit.
- Anwendungsbereich: Halbleitergerätekomponenten, verschleiß- und korrosionsbeständige Teile.
- Dichte: 3.88 g/cm3
- Wasseraufnahme: 0%
- Vickers-Härte: 17 HV
- Biegefestigkeit: 350 MPa
- Druckfestigkeit: 2450 MPa
- Elastizitätsmodul: 350 GPa
- Poissonzahl: 0.22
- Bruchzähigkeit: 4-5 MPa·m1/2
- Linearer Ausdehnungskoeffizient (40-400°C): 8.2 x10-6/°C
- Wärmeleitfähigkeit (20°C): 25-30 W/(m·k)
- Spezifische Wärme: 0.8 J/(kg·k)x103
- Volumenwiderstand (20°C): >1015 Ω·cm
- Durchschlagsfestigkeit: 20 KV/mm
- Dielektrizitätskonstante: 9.2
- Dielektrischer Verlustfaktor: 2 x10-4
- Gewichtsverlust in Salpetersäure (HNO3) (90°C): 1015 Ω·cm, Durchschlagsfestigkeit 20 KV/mm, Dielektrizitätskonstante 9.2, Dielektrischer Verlustfaktor 2 x10-4, Maximale Gebrauchstemperatur 1500°C