Keramikscheibe 69299-00001-9068

SiliziumcarbidHochtemperatur

Kurze Beschreibung
Diese porösen SiC-Keramikscheiben sind für präzise Vakuumadsorption und luftgeführte (Luftlager) Unterstützung in der Halbleiter- und hochpräzisen Fertigung ausgelegt. Hergestellt aus Siliziumkarbid, weisen sie hohe Härte, gute Wärmeleitfähigkeit und chemische Beständigkeit auf, was eine stabile Vakuumhaltefähigkeit und gleichmäßige Luftverteilung sicherstellt. Die Scheiben ermöglichen berührungslose, schonende Handhabung von Wafern, Paneelen und dünnen Substraten und eignen sich für Hochtemperatur- und Hochpräzisionsprozesse.

Produktspezifikationen (Zusammenfassung)
Formel: SiC
Form: Scheibe
Werkstoff: Poröse Siliziumkarbid-Keramik
CAS-Nummer: 409-21-2
Ware: Poröse Keramikscheibe

Spezifikationen / Toleranzen (Scheibe)
Dicke: 2 mm (Toleranz ±0,1 mm)
Außendurchmesser: 80 mm (Toleranz ±0,1 mm)

Physikalische Eigenschaften
Dichte: 2,0 - 2,2 g/cm³

Mechanische Eigenschaften
Härte (HRA): ≥ 40,00

Typische Anwendungen

• Vakuumspannfutter-Systeme für die Halbleitertechnik (Wafer-Schleifen, Wafer-Trennung, Vakuumspannfutter für Druckprozesse)
• Reinigung von Vakuumspannfuttern
• Transfer- und Handhabungs-Vakuumspannfutter
• Präzise Luftlager- und Luftlagerungsplattformen
• Fertigung von LCD- und OLED-Display-Panels
• Halbleiter-Mikroelektronikprozesse
• Handhabung von Glas und Panels für Mobiltelefone
• Dünnschichtprozesse
• Laserbearbeitungsplattformen
• Druck- und Beschichtungssysteme
• Photovoltaik- und Solarzellenindustrie

Hauptmerkmale

• Gleichmäßige und stabile Porenstruktur
• Zuverlässige Vakuumadsorptionsleistung
• Gleichmäßige Luftverteilung für Luftlager-Anwendungen
• Geeignet für berührungslose, schonende Handhabung
• Hohe Maßgenauigkeit und Konsistenz
• Ausgelegt für Reinraum- und sehr saubere Fertigungsumgebungen

Spezifikationen & Varianten

• Mehrere Größen und Dicken verfügbar
• Verschiedene Porenstrukturen zur Anpassung an Last- und Prozessanforderungen
• Konsistente Porenverteilung über alle Spezifikationen

Technische Daten / Spezifikationen

• Formel: SiC
• Form: Scheibe
• Werkstoff: Poröse Siliziumkarbid-Keramik
• CAS-Nummer: 409-21-2
• Ware: Poröse Keramikscheibe
• Scheibendicke: 2 mm (Toleranz ±0,1 mm)
• Außendurchmesser: 80 mm (Toleranz ±0,1 mm)
• Dichte: 2,0 - 2,2 g/cm³
• Härte (HRA): ≥ 40,00
• Verfügbare Porengrößen: z. B. 15 μm und 30 μm
• Verpackung: 1 Stück pro Einheit