Keramikscheibe

Aluminiumoxid

Kurzbeschreibung Diese Serie poröser Keramikscheiben aus Aluminiumoxid (Al₂O₃) ist für präzise Vakuumadsorption und Luft-Flotationsanwendungen in der Halbleiter- und anspruchsvollen Fertigungsumgebung ausgelegt. Mit einer gleichmäßigen porösen Struktur bieten die Keramiken stabile Haltekräfte im Vakuum und eine gleichmäßige Luftverteilung, sodass berührungslose, beschädigungsfreie Handhabung von Wafern, Paneelen und dünnen Substraten möglich ist.

Typische Anwendungen

• Vakuum-Chuck-Systeme für die Halbleiterfertigung (Vakuum-Chuck für Wafer-Schleifen; Vakuum-Chuck für Wafer-Dicing; Vakuum-Chuck für Druckanwendungen)
• Reinigung des Vakuum-Chucks
• Transfer- und Handling-Vakuum-Chucks
• Präzisions-Luftlager und Luft-Flotationsplattformen
• Herstellung von LCD- und OLED-Display-Panels
• Mikroelektronische Halbleiterprozesse
• Handhabung von Handy-Glas und -Panels
• Dünnschichtverfahren
• Laserbearbeitungsplattformen
• Druck- und Beschichtungssysteme
• Photovoltaik- und Solarzellenindustrie

Hauptmerkmale

• Gleichmäßige und stabile poröse Struktur
• Zuverlässige Vakuumadsorptionsleistung
• Gleichmäßige Luftverteilung für Luft-Flotationsanwendungen
• Geeignet für berührungslose, schadensarme Handhabung
• Hohe Maßhaltigkeit und Konsistenz
• Ausgelegt für hochreine Fertigungsumgebungen

Produktangaben (allgemein)

• Mehrere Größen und Dicken verfügbar
• Verschiedene Porenstrukturen zur Anpassung an unterschiedliche Last- und Prozessanforderungen
• Konsistente Porenverteilung über alle Spezifikationen

Produktidentifikation / Zusammensetzung Formula: Al₂O₃
Forms: Discs
Materials: Alumina Porous Ceramic
CAS Number: 1344-28-1
Commodity: Porous Ceramic Discs

Spezifikationen / Toleranzen (Scheibe)
Dicke: 2,5 mm ±0,1 mm
Außendurchmesser: 151,6 mm ±0,1 mm

Physikalische Eigenschaften
Dichte (g/cm³): 2,3 - 2,5

Mechanische Eigenschaften
Härte (HRA): ≥ 50.00

Technische Merkmale / Spezifikationen

• Formula: Al₂O₃ (alumina porous ceramic)
• Typisches Scheibenmaß (Beispielvariante): D151,6 × 2,5 mm (Durchmesser × Dicke)
• Dickentoleranz: ±0,1 mm
• Außendurchmessertoleranz: ±0,1 mm
• Typische Porengröße (Beispielvariante): 30 μm
• Dichte: 2,3–2,5 g/cm³
• Härte: HRA ≥ 50.00
• Farbe (Beispielvariante): Blau-grau
• Packungseinheit (Beispielvariante): 1 Stück pro Einheit
• Typische Anwendungen: Vakuum-Chucks, Luft-Flotationsplattformen, Paneelhandling, Dünnschicht- und Laserprozesse
• Entwickelt für Reinraum- / Präzisionsfertigungsumgebungen
• Verfügbar in mehreren Größen, Dicken und Porenstrukturvarianten zur Anpassung an Last- und Prozessanforderungen
• SKU (Beispielvariante): 69298-00001-1168