UV-sichtbarer Miniatur-Spektrometer C16767MA

ultraviolettCMOSfür die Halbleiterindustrie

Übersicht
Der C16767MA ist ein hochempfindlicher, ultrakompakter Spektralkopfkörper, optimiert für den Ultraviolettbereich (190–440 nm). Er ist für die Integration in kompakte oder mobile Messsysteme ausgelegt, die UV‑Messungen bis in den tiefen UV‑Bereich benötigen.

Merkmale

• Polstertastengröße: 20,1 × 12,5 × 10,1 mm
• Gewicht: 5 g
• Spektrale Empfindlichkeit: 190 bis 440 nm
• Hohe Empfindlichkeit für UV‑Messungen
• Spektrale Auflösung: bis zu 8 nm (max.), typ. 5,5 nm (FWHM)
• Unterstützt synchronisierte Integration (elektronische Verschlussfunktion)
• Zur Integration in mobile Messgeräte
• Wellenlängen‑Umrechnungsfaktor ist auf dem Endprüfblatt angegeben

Anwendungen / Beispiele

• Wasserqualitätsanalyse (Beispiele: Salpeter‑/Salpetrige Säure, BSB)
• Atmosphärenanalyse (NO, SO2 usw.)
• Überwachung von UV‑LEDs und UV‑Bändern: UV‑A, UV‑B, UV‑C
• Prozessüberwachung in der Halbleiterfertigung (Plasma, Gase usw.)

Technik und Aufbau
Die C16767MA‑Serie verwendet einen linearen CMOS‑Bildsensor mit integrierter Schlitzblende, hergestellt mittels Ätztechnik, sowie ein reflektierendes konkaves Flächengitter (Beugungsgitter), gefertigt durch Nanoimprint‑Lithographie. Der Bildsensor ist UV‑resistent ausgeführt und auf dem Sensor ist mittels eines proprietären opto‑halbleiterverfahrens ein Filter zur Unterdrückung von Streulicht aufgebracht, um bei der Beugung entstehendes Streulicht zu reduzieren.

Zusätzliche technische Hinweise
Das Modul ist nicht gekühlt und verwendet einen linearen CMOS‑Bildsensor mit integrierter Schlitzblende; Gesamtpixelanzahl: 288. Messbedingungen, sofern nicht anders angegeben: Ta = 25 °C.

Technische Daten

• Spektrale Empfindlichkeit: 190 bis 440 nm
• Spektrale Auflösung (FWHM) (typ.): 5,5 nm
• Spektrale Auflösung (FWHM) (max.): 8 nm
• Kühlung: nicht gekühlt
• Integrierter Sensor: linearer CMOS‑Bildsensor mit integrierter Schlitzblende
• Gesamtanzahl Pixel: 288 Pixel
• Messbedingung: Typ. Ta = 25 °C (sofern nicht anders vermerkt)
• Größe: 20,1 × 12,5 × 10,1 mm
• Gewicht: 5 g
• Unterstützt synchronisierte Integration (elektronischer Verschluss)