Miniatur-Spektrometer / ultraviolett C16767MA-01

CMOSfür die HalbleiterindustrieOEM

Überblick
Der C16767MA-01 ist ein ultrakompakter, hochsensitiver Mini-Spektrometerkopf für den UV-Bereich (190 nm–440 nm). Entwickelt zur einfachen Integration in kompakte und tragbare Analysegeräte für industrielle Überwachung und Feldmessungen.

Hauptmerkmale

• Fingertip-Größe: 20,1 mm × 12,5 mm × 10,1 mm
• Gewicht: 5 g
• Spektrale Empfindlichkeit: 190 nm bis 440 nm
• Spektrale Auflösung (typ.): 3,2 nm; (max.): 5 nm
• Unterstützt synchronisierte Integration (elektronischer Verschluss)
• Ungekühlter Betrieb
• Wellenlängen-Umrechnungsfaktor auf dem Endprüfblatt angegeben

Technologie / Aufbau
Der C16767MA-01 verwendet einen CMOS-Linearsensor mit integriertem, geätztem Spalt und ein reflektierendes, konkaves Gitter, hergestellt mittels Nanoimprint-Lithographie. Der Sensor weist erhöhte UV-Beständigkeit auf und besitzt einen auf dem Sensor gebildeten Streulichtfilter, der diffraktionsbedingtes Streulicht unterdrückt und dadurch die Signaltreue im UV-Bereich verbessert.

Anwendungsbeispiele

• Wasserqualitätsanalyse (organische Verbindungen, BSB)
• Atmosphärenüberwachung von Gasen (z. B. NO, SO2)
• Charakterisierung von UV-LEDs (UV-A, UV-B, UV-C)
• Prozessüberwachung in der Halbleiterfertigung (Plasma- und Prozessgasanalyse)

Messbeispiele (Hinweise)
Demonstrationsmodule mit dem C16767MA-01 lieferten Messungen von Salpetersäure, Stickstoffsäure, BSB und ausgewählten organischen Verbindungen (z. B. Anthracen), die in bestimmten Analysen gut mit größeren Tischspektrophotometern übereinstimmen. Für detaillierte Prüfbedingungen und Kalibrierverfahren die Anwendungshinweise beachten.

Technische Daten

• Spektraler Reaktionsbereich: 190 nm bis 440 nm
• Spektrale Auflösung (FWHM) (typ.): 3,2 nm
• Spektrale Auflösung (FWHM) (max.): 5 nm
• Kühlung: Nicht gekühlt
• Sensor: CMOS-Linearsensor mit integriertem Spalt
• Gesamtanzahl Pixel: 288
• Typische Messbedingung: Ta = 25 °C sofern nicht anders angegeben