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... Hochproduktive Inspektionssysteme für gemusterte Wafer mit breitem Bereich Die Inspektionssysteme für strukturierte Wafer der Serie 8 erkennen eine Vielzahl von Fehlertypen ...
KLA Corporation
... tatsächlichen Massenproduktion Erweiterungsfähigkeit Das System kann mit Trägern arbeiten, die 25 bis 150 Wafer laden, und es kann mit einem Wafer-Reinigungssystem integriert werden Effizienz Doppelstocktrays, ...
... Mit seiner einzigartigen optischen Designtechnologie erkennt und klassifiziert das Imperia-System ertragsmindernde Fehler mit dem zusätzlichen Vorteil einer gleichzeitigen hochmodernen Photolumineszenz (PL)-Produktionsüberwachung Produktübersicht Mit ...
Onto Innovation Inc.
Das GWI System wurde entwickelt speziell um Fehler auf Wafern in einem frühen Stadium der Produktion zu erkennen. Das System basiert auf einer hochauflösenden smart Kamera um die geforderte Genauigkeit in der Fehlererkennung zu erreichen. Die ...
... Hochpräzise Auflösung Systemauflösung: 0.2-0,8 μ m - Schnelle Erkennungsgeschwindigkeit Gemusterte Wafer: 15 Minuten/Wafer, wenn die Anzahl der Defekte weniger als 200 beträgt ...
... Das optische Inspektionssystem MicroProf DI von FRT ermöglicht die Inspektion von strukturierten und unstrukturierten Wafern während des gesamten Fertigungsprozesses. Durch die Kombination von 2D-Inspektion und Metrologie ...
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