KLA Inspektionssysteme

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optisches Inspektionssystem
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8 series

... Hochproduktive Inspektionssysteme für gemusterte Wafer mit breitem Bereich Die Inspektionssysteme für strukturierte Wafer der Serie 8 erkennen eine Vielzahl von Fehlertypen bei sehr hohem Durchsatz und ermöglichen eine ...

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Strahlen-Inspektionssystem
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eSL10™

... Das eSL10™ Elektronenstrahl-Prüfsystem für strukturierte Wafer nutzt die branchenweit höchste Landeenergie und hohe Auflösung, um kleine physikalische Defekte und Defekte mit hohem Aspektverhältnis zu erfassen und so die Prozessentwicklung und Produktionsüberwachung ...

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Oberflächenfehler-Inspektionssystem
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Teron™ 600

... und 193nm-gemusterter Netzhäute in Maskenwerkstätten durch die Erkennung kritischer Muster- und Partikelfehler. Diese Inspektionssysteme arbeiten im Die-to-Die- oder im Die-to-Die-Modus und sind für eine Vielzahl von Stapelmaterialien, ...

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optisches Inspektionssystem
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Teron™ SL600

... Das Teron™ SL670e XP2- Inspektionssystem wird zur Bewertung der Qualität eingehender EUV-Netzteile und zur regelmäßigen Requalifizierung von EUV-Netzteilen während der Produktion und nach der Netzteilreinigung eingesetzt. Es hilft Chipherstellern, ...

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optisches Inspektionssystem
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FlashScan®

... Das FlashScan® 211 System zur Inspektion von Maskenrohlingen unterstützt Maskenshops und Hersteller von Rohlingen bei der Erfüllung der Anforderungen an Maskenrohlinge für optische und EUV-Lithografieanwendungen. Das FlashScan 211-System verbindet seine ...

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3D-Inspektionssystem
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Kronos™ 1190XR

... Das Kronos™ 1190XR Inspektionssystem für strukturierte Wafer mit hochauflösender Optik bietet eine erstklassige Empfindlichkeit für kritische Defekte bei der Prozessentwicklung und Produktionsüberwachung in Advanced Wafer Level Packaging ...

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optisches Inspektionssystem
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CIRCL™-AP

... CIRCL™-AP ist ein Cluster-Tool mit mehreren Modulen, die eine vollflächige Inspektion, Metrologie und Überprüfung mit hohem Durchsatz für eine effiziente Prozesskontrolle beim Advanced Wafer-Level Packaging (AWLP) abdecken. Das CIRCL-AP-Tool wird für ...

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optisches Inspektionssystem
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ICOS™ T890

... Gepackte IC-Inspektions- und Messsysteme Der ICOS™ T890 Komponenteninspektor bietet eine leistungsstarke, vollautomatische optische Inspektion von gehäusten integrierten Schaltkreisen (IC). Es nutzt die hohe Empfindlichkeit bei 2D- und 3D-Messungen zur ...

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