Optisches Inspektionssystem TR7900Q SII-R

Infrarotper VideosichtKamera

Einführung
Der TR7900Q SII-R ist eine 3D automatisierte Inspektions- und Ausschussstation für die Halbleiter- und Advanced Packaging-Industrie. Er kombiniert eine hochauflösende 2,5 μm Bildgebungsplattform mit integriertem Loader/Unloader zur vereinfachten Handhabung von Strips und Magazinen und ermöglicht die Inspektion von Die-Bonding, Wire-Bonding, Bumps und Lötstellen bis zu Drahtdurchmessern von 15 μm.

Hauptmerkmale

• Defekterkennung für Advanced Packaging: Die-Bonding, Ball/Wedge/Ribbon Wire Bonding
• Tintenmodul zur Kennzeichnung von Ausschuss (Tintenprinter oder Tintenschreiber optional)
• 2,5 μm Hochauflösende 3D-AOI mit metrologischen Messfunktionen
• Integrierter Loader und Unloader für Magazin-Handling (bis zu 3 Magazine)
• Optionale KI-basierte Drahtdetektionsalgorithmen
• Inspektion von Au-, Al-, Ag- und Cu-Drähten bis 15 μm
• Optionale SWIR-Beleuchtung zur Erkennung innerer Risse und Abplatzungen
• Reinraumkompatibilität: Klasse 100 (ISO Klasse 5 gemäß ISO 14644-1)

Optisches System
Bildgebungsart: Stop-and-Go Imaging
Top-Kamera: 25 Mpix
Bildauflösung: 2,5 μm
Beleuchtung: Multi-phase True Color LED (SWIR optional)
3D-Technologie: Quad digitale Streifenprojektoren
Max. 3D-Höhenbereich: 600 μm

Markiermethode für Defekte
Markiermethode: Tintenprinter (Tintenschreiber optional)

Bewegungstisch & Steuerung
X-Achsen-Steuerung: Linearmotor
Y-Achsen-Steuerung: Dualer Linearmotor
X-Y-Achsen-Auflösung: 0,1 μm

Bauteil-Handling
Max. Stapelanzahl Magazine: 3 (bei Magazinbreite 125 mm)
Magazinabmessungen (B x L x H): 50 - 175 mm x 120 - 320 mm x 80 - 160 mm
Strip-Abmessungen (B x L x T): 35 - 180 mm x 100 - 300 mm x 0,1 - 1,5 mm
Max. Strip-Gewicht: 0,4 kg
Strip-Träger / Fixierung: Greiferförderer
Oberer Freiraum: 15 mm
Unterer Freiraum: 6 mm
Kantenfreiraum: 3 mm

Inspektionsfunktionen

Die Bonding

• Fehlt
• Orientierung
• Rotation
• Verschiebung
• Gekippt
• Abplatzung
• Riss
• Kratzer
• Fremdmaterial
• Bondlinienstärke
• Epoxid auf Die
• Epoxid-Abdeckung
• Epoxid-Höhe

Wire Bonding

• Gebrochen
• Kurzschluss
• Sweep / Sink
• Fehlt
• Schwanken
• Zusammenbruch
• Schleifenhöhe
• Durchhängender Draht
• Abstand zwischen Kreuzdrähten
• Drahtverfolgung
• Ball-Bond-Durchmesser
• Ball-Platzierung
• Stitch-Breite
• Stitch-Abdeckung über Ball
• Ball-off Pad
• Abstand Ball-Touch Pad
• Clubbed Ball
• Ball-Dicke
• Lifted Ball
• Low Landing
• Bond auf Kontamination
• Fremdmaterial

Bonding-Bereich / Pad

• Kupfervorsprung
• Riss
• Abplatzung
• Freigelegtes Kupfer
• Freigelegtes Nickel
• Zielmaterial
• Kratzer oder Bürstspuren
• Oxidation
• Fremdmaterial

Abmessungen
BxTxH: 2370 x 1455 x 1700 mm (Signalturm nicht enthalten; Signalturmhöhe 515 mm)
Gewicht: 1120 kg (1280 kg mit Auto Load/Unload Modul)

Technische Spezifikationen

• Modell: TR7900Q SII-R
• Brand: Test Research, Inc. (TRI)
• Bildgebungsart: Stop-and-Go Imaging
• Top-Kamera: 25 Mpix
• Bildauflösung: 2,5 μm
• 3D-Technologie: Quad digitale Streifenprojektoren
• Max. 3D-Höhenbereich / Messbereich: 600 μm
• Max. Drahtinspektionsdurchmesser: bis 15 μm
• Beleuchtung: Multi-phase True Color LED (SWIR optional)
• Defektmarkierung: Tintenprinter (Tintenschreiber optional)
• X-Achsen-Steuerung: Linearmotor
• Y-Achsen-Steuerung: Dualer Linearmotor
• X-Y-Achsen-Auflösung: 0,1 μm
• Max. Stapelanzahl Magazine: 3 (bei 125 mm Magazinbreite)
• Magazinabmessungen (B x L x H): 50 - 175 mm x 120 - 320 mm x 80 - 160 mm
• Strip-Abmessungen (B x L x T): 35 - 180 mm x 100 - 300 mm x 0,1 - 1,5 mm
• Max. Strip-Gewicht: 0,4 kg
• Oberer Freiraum: 15 mm; unterer: 6 mm; Kante: 3 mm
• Gesamtabmessungen (BxTxH): 2370 x 1455 x 1700 mm
• Gewicht: 1120 kg (1280 kg mit Auto Load/Unload Modul)
• Reinraum: Klasse 100 - ISO Klasse 5 (ISO 14644-1)