CMOS-Inspektionssystem TR7900Q SII

per VideosichtLEDKamera

Einführung
Der TR7900Q SII basiert auf einer hochauflösenden Plattform mit 2,5 μm und 25 Mpix Bildgebung, entwickelt für die Halbleiter- und Advanced Packaging‑Industrie. KI‑gestützte Algorithmen und metrologische Messfunktionen steigern die Leistungsfähigkeit der Smart 3D AOI‑Lösung. Das 3D SEMI AOI integriert sich vollständig mit Loader/Unloader‑Modulen zur vereinfachten Handhabung von Streifen und Magazinen. Das Stop-and-Go 3D AOI prüft Die‑Bonding, Wire/Ball/Ribbon/Wedge‑Bonding, SiP, Underfill, SMD, Bumps und Lötstellen. Die Smart Factory AOI kann Drahtdurchmesser bis 15 μm (0,6 mil) inspizieren.

Funktionen

• Erweiterte Defekterkennung bei Packaging für Wire‑ und Die‑Bonding
• 2,5 μm Hochauflösungs‑3D AOI mit metrologischen Messmöglichkeiten
• Integrierter Loader und Unloader für Magazin‑Handling
• KI‑gestützte Drahtdetektion (optional)
• Inspektion von Au, Al, Ag und Cu Drähten bis 15 μm
• Bond‑Inspektion: Ball Bond, Wedge Bond, Ribbon Bond
• SWIR‑Beleuchtung zur Erkennung innerer Risse und Absplitterungen (optional)
• Reinraumkompatibilität: Klasse 1000 (ISO Klasse 6, ISO 14644-1)

Optisches System (Schlüsselelemente)
Bildgebungsverfahren: Stop-and-Go Imaging
Top‑Kamera: 25 Mpix
Bildauflösung: 2,5 μm
Beleuchtung: Multi‑phase True Color LED
3D‑Technologie: Quad digitale Fringe‑Projektoren
Max. 3D‑Höhenbereich: 15 mm

Bewegungstisch & Steuerung (Schlüsselelemente)
X‑Achse Steuerung: Kugelgewindetrieb + AC Servo Motor oder Linearmotor
Y‑Achse Steuerung: Doppelter Kugelgewindetrieb + AC Servo Motor oder Dual‑Linearmotor (optional)
Z‑Achse Steuerung: Kugelgewindetrieb + AC Servo Motor (Getriebe optional)
X‑Y Achsauflösung: 0,1 μm

Platine / Magazin‑Handhabung (Schlüsselelemente)
Max. Stapelhöhe Magazine: 3 Magazine (basierend auf Magazinbreite 125 mm)
Magazinbreite: 50 - 175 mm
Magazinlänge: 120 - 320 mm
Magazinhöhe: 80 - 150 mm
Streifenbreite*: 35 - 150 mm
Streifenlänge: 100 - 285 mm
Streifenstärke: 0,1 - 1,5 mm
*Bei Streifenbreite 35–54 mm ist Sonderauslegung erforderlich
Max. Streifen­gewicht: 0,5 kg
Streifenhalter / Befestigung: Bandförderer
Oberer Freiraum: 7 mm
Unterer Freiraum: 10 mm
Kantenfreiraum: 3 mm

Inspektionsfunktionen (Beispiele detektierbarer Defekte und Messungen)
Die‑Bonding: fehlend, Orientierung, Rotation, Versatz, geneigt, Absplitterung, Riss, Kratzer, Fremdmaterial; Bondlinien‑Dicke; Epoxy auf Die; Epoxy‑Abdeckung; Epoxy‑Höhe
Wire‑Bonding: gebrochen, kurz, sweep/sink, fehlend, Schwanken, Kollaps, Loop‑Höhe, durchhängender Draht, Drahtabstand; Drahtverfolgung; Ball‑Bond‑Durchmesser; Ball‑Platzierung; Stitch‑Breite; Stitch‑Abdeckung über Ball; Ball‑Off‑Pad; Clubbed Ball; Ball‑Dicke; gehobener Ball; Low Landing; Bond auf Kontamination; Fremdmaterial
Bonding‑Bereich / Pad: Kupfervorstand; Riss; Absplitterung; freiliegendes Kupfer; freiliegendes Nickel; Zielmaterial; Kratzer oder Bürstspuren; Oxidation; Fremdmaterial

Abmessungen & Gewicht
BxTxH (ohne Auto Load/Unload‑Modul): 990 x 1495 x 1700 mm
BxTxH (mit Auto Load/Unload‑Modul): 2065 x 1490 x 1700 mm
Hinweis: Signalturm nicht enthalten; Signalturmhöhe 515 mm
Gewicht: 823 kg (ohne Auto Load/Unload‑Modul); 989,5 kg (mit Auto Load/Unload‑Modul)

Hinweise
Optionale Module: KI‑gestützte Drahtdetektion, SWIR‑Beleuchtung und weitere optionale Module können verfügbar sein. Das System integriert Loader/Unloader‑Module zur Vereinfachung der Handhabung von Streifen und Magazinen.

Technische Spezifikationen

• Modell: TR7900Q SII
• Bildgebungsverfahren: Stop-and-Go Imaging
• Top‑Kamera Auflösung: 25 Mpix
• Bildauflösung: 2,5 μm
• Beleuchtung: Multi‑phase True Color LED (SWIR optional)
• 3D‑Technologie: Quad digitale Fringe‑Projektoren
• Max. 3D‑Höhenbereich: 15 mm
• X‑Y Achsauflösung: 0,1 μm
• X‑Achse Steuerung: Kugelgewindetrieb + AC Servo Motor oder Linearmotor
• Y‑Achse Steuerung: Doppelter Kugelgewindetrieb + AC Servo Motor oder Dual‑Linearmotor (optional)
• Z‑Achse Steuerung: Kugelgewindetrieb + AC Servo Motor (Getriebe optional)
• Max. stapelbare Magazine: 3 (basierend auf 125 mm)
• Magazinbreite: 50 - 175 mm
• Magazinlänge: 120 - 320 mm
• Magazinhöhe: 80 - 150 mm
• Streifenbreite: 35 - 150 mm (Sonderauslegung für 35–54 mm)
• Streifenlänge: 100 - 285 mm
• Streifenstärke: 0,1 - 1,5 mm
• Max. Streifen­gewicht: 0,5 kg
• Halter / Befestigung: Bandförderer
• Freiräume: Oben 7 mm; Unten 10 mm; Kante 3 mm
• BxTxH (ohne Loader): 990 x 1495 x 1700 mm
• BxTxH (mit Loader): 2065 x 1490 x 1700 mm
• Gewicht: 823 kg (ohne Loader); 989,5 kg (mit Loader)