ProduktVollautomatische Wafer-Belichtungsanlage (Mask Aligner) für die LED-Chipherstellung. Kompatibel mit Micro LED und Standard-LED-Wafern; erhältlich in zwei kombinierten Größenvarianten für 2–4 Zoll und 4–6 Zoll Wafer.
ÜbersichtEs werden zwei Varianten des vollautomatischen Belichtungssystems angeboten, um unterschiedliche Wafergrößen abzudecken:
- 2–4 Zoll Kombinations-Typ
- 4–6 Zoll Kombinations-Typ
AnwendungenEntwickelt für Belichtungsprozesse von Micro LED und LED in F&E und Produktionslinien.
Spezifikationen- Taktkapazität (erste Stufe): 150 Stück oder mehr pro Stunde
- Taktkapazität (zweite Stufe): 130 Stück oder mehr pro Stunde
- Ausrichtgenauigkeit: ≤ 0,5 μm
Technische Merkmale- Automatische Wafer-Handhabung und Maskenausrichtung
- Unterstützung für kombinierte Wafergrößen: 2–4 Zoll und 4–6 Zoll
- Konstruktion mit Fokus auf präzise Ausrichtung und gemessene Durchsatzwerte