Photoelektronenspektrometer JPS-9030

RöntgenProzessMess

Das JPS-9030 ist mit einer neu entwickelten Bedienungssoftware ausgestattet, wodurch die Funktionsfähigkeit weiter verbessert wurde. Ebenso überzeugt das neue JPS-9030 durch sein weiterentwickeltes, modernes und ansprechendes Design. Merkmale 1. Anwendungsoptimierte Tiefenprofilierung Die neu entwickelte Kaufman-Ionenquelle ermöglicht Ätzraten von 1 nm/min bis 100 nm/min (SiO2) und lässt sich anwendungsspezifisch sowohl für hohe Abtragsraten als auch für hoch-präzisen Abtrag anpassen. Da die Kaufman-Ionenquelle auf der Probenschleuse angebracht ist, wird die Kontamination der Messkammer vermieden. 2. Neu entwickelte Software für deutlich vereinfachte Bedienung Die neue Software SpecSurf Ver. 2.0 bietet aufgrund ihrer neuen Grafik-Oberfläche mit Multifunktionsleiste eine noch benutzerfreundlichere Umgebung, in der alle Operationen einfach, schnell und effizient durchgeführt werden können. Mit der automatischen qualitativen Analysefunktion ist es möglich, quantitative und qualitative Bindungszustands-Analysen sequenziell an mehreren Messpunkten durchzuführen. 3. Höchste Oberflächenempfindlichkeit Das JPS-9030 unterstützt Techniken wie winkelaufgelöste XPS (ARXPS) und Total Reflection XPS (TRXPS). Zugleich ermöglicht das Gerät hochempfindliche Analysen von Oberflächen in einer Tiefe von nur 1 nm (Standard-Messmethode 6 nm oder mehr).