Inspektionsmaschinen für Gravur-Wafer

... Die Breitband-Plasma-Defektinspektionssysteme 3935 und 3920 EP unterstützen die Erkennung von Defekten auf Waferebene, das Erlernen der Ausbeute und die Inline-Überwachung für ≤5nm-Logik- und Spitzenspeicher-Designknoten. Mit einer Lichtquelle, die hochauflösende ...

... Übersicht
Umfassende Systeme zur Wafer-Fehlerinspektion und -recherche für das Auffinden, die Klassifizierung und Überwachung von Muster- und Oberflächenfehlern in F&E und Produktion. Die Systeme kombinieren breitbandige ...

... Die plasmaoptischen Breitband-Defektinspektoren der C30x-Serie ermöglichen eine systematische Defekterkennung und die Erkennung latenter Zuverlässigkeitsdefekte in der Chipfertigung für die Märkte Automotive, IoT, 5G, Unterhaltungselektronik und Industrie ...

... modernen Logik-, DRAM- und 3D-NAND-Speicherbauelementen mit 1Xnm erforderlich ist. Als Teil eines Portfolios fortschrittlicher Wafer-Defektinspektions- und -Review-Tools bietet der Puma 9980 eine Lösung mit höchstem Durchsatz für die ...

... Das Overlay-Metrologiesystem Archer™ 800 bietet eine genaue Rückmeldung von Overlay-Fehlern auf dem Produkt für schnelle Technologierampen und eine stabile Produktion von Spitzenspeicher- und Logikbauteilen. Die Abstimmbarkeit der Wellenlänge und die ...

... Beschreibung
AIVR ist eine CIMS KI-gestützte Prüfstation, die virtuelle und physische Verifizierung in einer einzigen Arbeitsstation kombiniert. Die CIMS AIVR 5μ ist für die Serienfertigung von IC-Substraten ausgelegt und für die Überprüfung ...