Optische Inspektionsmaschine Puma™

für Gravur-Waferfür die ElektronikFehler

Das Puma™ 9980 Laserscanning-Inspektionssystem umfasst mehrere Verbesserungen in Bezug auf Empfindlichkeit und Geschwindigkeit, die die Erfassung kritischer Defekte von Interesse (DOI) bei einem Durchsatz ermöglichen, der für die Großserienfertigung von modernen Logik-, DRAM- und 3D-NAND-Speicherbauelementen mit 1Xnm erforderlich ist. Als Teil eines Portfolios fortschrittlicher Wafer-Defektinspektions- und -Review-Tools bietet der Puma 9980 eine Lösung mit höchstem Durchsatz für die Produktionsüberwachung, indem er die Erfassung von Defekttypen auf fortschrittlichen Strukturierungsschichten verbessert. Der Puma 9980 verfügt über die NanoPoint™ Design-Aware-Funktion, die durch eine erhöhte Defektsensitivität, ein verbessertes systematisches Nuisance Binning und eine höhere Genauigkeit der Defektkoordinaten zu aussagekräftigeren Prüfergebnissen führt. Linienüberwachung, Werkzeugüberwachung, Werkzeugqualifizierung Bietet hochempfindliche Auslenkungsüberwachung in allen Die-Bereichen für 2X/1Xnm Speicher- und Logikbauteile. Bietet hochleistungsfähige Exkursionsüberwachung in allen Die-Regionen für ≥28nm-Speicher- und Logikbausteine. Bietet hochleistungsfähige Exkursionsüberwachung für ≥32nm Speicher- und Logikbausteine.