Optische Inspektionsmaschine C30x

für Gravur-Waferfür die ElektronikFehler

Die plasmaoptischen Breitband-Defektinspektoren der C30x-Serie ermöglichen eine systematische Defekterkennung und die Erkennung latenter Zuverlässigkeitsdefekte in der Chipfertigung für die Märkte Automotive, IoT, 5G, Unterhaltungselektronik und Industrie (Militär, Luft- und Raumfahrt, Medizin). Die C30x-Inspektoren nutzen eine abstimmbare Breitband-Beleuchtungsquelle, eine fortschrittliche Optik und einen rauscharmen Sensor, um kritische Defekte über eine Reihe von Prozessschichten und Gerätetypen zu erfassen. Die NanoPoint™-Technologie fokussiert die Inspektion auf Musterbereiche, die ein hohes Risiko für Zuverlässigkeitsfehler aufweisen, und liefert verwertbare Defektdaten, die zur Reduzierung von "Die Underkill" und "Overkill" beitragen. Durch die Entdeckung systematischer Defekte tragen die C30x-Inspektoren dazu bei, die Charakterisierung und Optimierung neuer Prozesse, Designknoten und Bauelemente in der Forschung und Entwicklung zu beschleunigen. In der Produktion ermöglicht die hohe Empfindlichkeit der C30x-Systeme bei optischer Inspektionsgeschwindigkeit die Inline-Überwachung kritischer Prozessschichten und hilft den Fabriken, Fehlerausschläge zu vermeiden, die die endgültige Chipqualität beeinträchtigen. Die C30x-Inspektoren sind auf einer erweiterbaren, konfigurierbaren Plattform aufgebaut, die sowohl 200-mm- als auch 300-mm-Wafergrößen unterstützt. Die C30x-Breitband-Plasmaprüfgeräte umfassen die folgenden Technologien: Breitband-Plasma-Beleuchtungsquelle Mit einer DUV/UV/sichtbaren Lichtquelle mit hoher Helligkeit erreichen die Inspektoren der C30x-Serie eine höhere Signalstärke für kritische Defekte. Abstimmbare Wellenlängenbänder Zahlreiche Wellenlängenbänder bieten die nötige betriebliche Flexibilität, um einen optimalen Kontrast für verschiedene Prozessschichten und Bauteiltypen zu erzielen. Mehrere Pixel Der C30x verfügt über kleine Pixelgrößen, die die Erkennung von winzigen, kritischen Defekten ermöglichen, die sich auf die Ausbeute und Zuverlässigkeit von Bauelementen auswirken. Sensor mit hoher Datenrate