Koppel-Prüfmaschine CT1000-SiPh

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Übersicht
Der CT1000-SiPh ist ein Prüfgerät für siliziumoptische Chips, ausgelegt für die industrielle Großserienfertigung. Das System vereint einen separaten Testbereich und einen Belade-/Entladebereich, um ein schnelles und präzises Koppeln und Messen von Fiber Arrays (FA) zu siliziumoptischen Chips zu ermöglichen. Es integriert ein hochauflösendes Vision-System, einen hochpräzisen Kopplungsmechanismus und eine dynamische Regelung mit geschlossenem Kraftkreis zur Sicherstellung von Messgenauigkeit und Durchsatz.

Hauptmerkmale

• Hochauflösendes Vision-System (visuelle Auflösung 50 nm)
• Hochpräziser Kopplungsmechanismus für FA→Chip-Ausrichtung
• Dynamische Closed-Loop-Kraftregelung für schnelles, reproduzierbares Koppeln
• Hohe Kompatibilität für verschiedene Chiptypen und Schnittstellen
• Automatisiertes Korb-Beladen/-Entladen für Produktionsdurchsatz

Vorteile

• Unabhängiges Luftlager-Dämpfungssystem im Testbereich zur Isolation externer und Belade-/Entladevibrationen
• Korb-Handling für automatisierte Massenproduktion
• Enddruckrückmeldung für präzise Prozesssteuerung und Überwachung
• Unterstützung von Prozessen wie Heißluft-Folienexpansion

Anwendungsbereiche

• Photonik
• Leistungshalbleiter
• Mikrowellen-RF-Bauelemente
• Neue Energiefahrzeuge (Antriebs- und Sensormodule)

Spezifikationen

• Wagenkapazität: 25 Stück 8-Zoll-Wafer-Ring
• Visuelle Auflösung: 50 nm
• Gerätegewicht: ca. 1300 kg
• Positiver Druckquelle: Druck ≥ 0,5 MPa; Anschlussdurchmesser: 8 mm
• Negativer Druckquelle: Vakuumgrad ≤ -80 KPa; Anschlussdurchmesser: 8 mm (optionale Vakuumpumpe)