Mikroskop für Wafer MPS150

optischfür die Oberflächeninspektionbinokular

Passen Sie Ihre 150-mm-Sondenstation auf der Grundlage flexibler Module zu einem unglaublichen Preis an! FormFactor stellt ein neues modulares Konzept für seine klassenbesten 150-mm-Sondenstationen vor. Damit wird es noch einfacher, Ihre individuelle Sondenlösung für aktuelle und zukünftige Anforderungen zu einem unglaublichen Preis zu konfigurieren. Wählen Sie einfach eine Basisstation und fügen Sie so viele anwendungsspezifische Starterkits hinzu, wie Sie benötigen. Koax - DC parametrischer Test bis zu pA-Ebenen - Bewegliche Platte mit 40 mm Höhenverstellung, 200 μm Kontakt-/Trennhub und ± 1 μm Wiederholgenauigkeit - Futtertisch mit einstellbarer Reibung und Tischverriegelung, einzigartiger Z-Futtereinstellung und 90 mm Auszug - Magnetische Positionierer mit 1 μm Merkmalsauflösung und 3 linearen Achsen mit Präzisionskugellager Triax - rauscharme Messungen bis hinunter zu fA-Pegeln - Stereomikroskop: 15- bis 100-fache Vergrößerung mit großem Sichtfeld und kameratauglichem C-Mount - Vier Triax-Sondenarme und hochwertige Triax-Kabel - Licht-/EMI-Abschirmung (optional) - Upgrade-Option für fF-Pegelmessungen - TRIAX-Futter mit ±8 Fein-Theta-Futterrotation, drei Hilfsflächen, Futteroberfläche mit ±5 μm Ebenheit für konstante Kontaktkraft und Überlauf - Ost/West- bis Nord/Süd-Messungen mit einer einzigen Einrichtung RF-Prüfung bis zu 67 GHz - Drei Sonden-Technologien verfügbar: Infinity-Taster, ACP-Taster, |Z|-Taster - Passende Kabel und Substrate im Lieferumfang enthalten - RF Chuck ±3 μm Oberflächenplanarität - Einzigartiger 200 μm Plattenkontakt/ Trennhub mit einer Genauigkeit von ≤± 1 μm für wiederholbaren Kontakt - WinCal XE Kalibrierungssoftware