Kontrollmodul für Wafer VULCANO XYT

3-Achs

Die VULCANO XYT Plattform besteht aus dem Standard VULCANO XY, ausgestattet mit dem RTTB Drehmodul, welches einen hochauflösenden Encoder beinhaltet, angebunden an ein hervorragendes mechanisches Lager. Die Nutzung dieser Plattform ist geeignet aber nicht begrenzt für: - Wafer-Prozess-Kontroll Applikationen, wie z.B. Overlay Metrologie, " Critical Dimension" und Thin film Metrologie. - Back-end: spezielle Flip-Chip Prozesse welche auf großen Elementen/Substraten ausgeführt werden. Besonderheiten - kompakte Grundfläche - Nanometer Poitionsstabilität - kurze Bewegungs- und Einschwingzeiten - hohe Dynamik - hohe bidirektionale Wiederholgenauigkeit - hohe Positionsstabilität - ISO class 1 Reinraumkompatibilität