Aktive Schwingungsdämpfer elastische Lagerung QuiET

rechteckig

EINE NEUE LÖSUNG ZUR SCHWINGUNGSISOLATION Das QuiET aktive Isolationssystem, ist ein neues Modul das beides beseitigt, systembedingte und (Fuß)-bodenbedingte Schwingungen in allen 6 Freiheitsgraden (6 DOF). Es hindert diese daran, Prozesse zu stören die auf der Bewegungsplattform stattfinden. Meistens, integrieren High-End Anwendungen in der Halbleiterindustrie komplexe Prozessaufbauten, welche auf die eine oder andere Weise mit dem Granit der Bewegungsplattform verbunden ist. Als solches, überträgt sich jede Schwingung auf der Granitebene in Ungenauigkeiten und längere Einschwingzeiten auf der Prozessebene. Dank ETELs Lösung, war es nie zuvor so effizient wie jetzt, diese Schwingungen los zu werden! DIE BEWEGUNGS-PERFORMANCE AUF DIE NÄCHSTE EBENE BRINGEN Dank eines patentrechtlich geschützten, geräuscharmen Sensors und einer gleichartigen, vollständig digitalen und deterministischen Bewegungsarchitektur, basierend auf 1 Gb TransnET, reduziert ETEL Bewegungs- und Einschwingzeiten bis zu beisspiellosen Werten. Mit einer Genauigkeit der Beschleunigungsvorsteuerung die mehr als 99% erreicht, verbleibt weniger als 1% der Energie, die das Bewegungsystem auf der Granitebene erzeugt. Die Granitmasse auf dem aktiven Isolationssystem kann daher klein gehalten werden, was wiederum die gesamte Anlage und die Masse reduziert, während die Prozesswerkzeuge direkt von einer ruhigeren Umgebung profitieren.