Drehachse mit Direktantrieb DXR+

für Elektronikanwendungenfür Halbleiterkompakt

Das DXR+ ist ein Drehmodul von ETEL, welches ein kompaktes Design, leichte Masse und eine große Hohlwelle aufweist und das richtige Leistungs- zu Kostenverhältnis für mittlere Anwendungen im Halbleiter- und Elektronikbereich bietet. Das DXR+ bringt wesentliche Verbesserungen hinsichtlich Steifigkeit, welche direkte Auswirkungen auf die Regelbandbreite des XY-Tisches haben, der es unterstützt. Das DXR+ Modul kann von 48 VDC bis zu 300 VDC Busspannung betrieben werden. Es kann von einem AccurET Modular 48 oder 300 betrieben werden oder von einem AccurET VHP für höhere Positionsstabilitäts-Anforderungen. Das DXR+ Modul bietet eine richtige Lösung um jede Anwendung zu meistern, die folgendes benötigt: - Gleichlauf der Bewegung - Mittlere Genauigkeitsanforderungen (normalerweise 5 µm Rundlauf) - Positionsstabilität im 100 nm Bereich @ 150 mm Radius Der Einsatz dieses Moduls ist für folgendens geeignet, aber nicht darauf beschränkt: - Wafer Prozesskontrolle, Wafer-dicing - Wafer Strukturierung - Laser Annealing - Solarzellen-Herstellung - etc. Hauptspezifikationen : - Bidirektionale Wiederholgenauigkeit ±2 arcsec bei ±3sigma - Positionsgenauigkeit : bis zu ±30 arcsec (w/o Kalibrierung) to bis zu ±3 arcsec nach Kalibrierung - Drehzahl bis zu 400 min-1 - Positionsstabilität ±0.2 arcsec - Hohe Geschwindigkeitsstabilität