Positioniersystem / Gestapeltes System VULCANO2

2-3 Achsenlinearfür die Halbleiterindustrie

VULCANO2 ist eine Gantry-Stapelachsen-Architektur, die auf einer mechanischen Lagerung basiert und mit optischen High-End-Encodern gekoppelt ist. Durch den Einsatz der bekannten ETEL-Eisenkernmotoren in Verbindung mit innovativen Konstruktionsprinzipien wird eine hohe Dynamik bei deutlich verbesserter Geometrie und Bewegungsleistung erreicht. Mit dem Schwerpunkt auf der Erleichterung von Halbleiteranwendungen ist die Plattform nach wie vor für alle unterschiedlichen Märkte und Bedürfnisse geeignet, die Lösungen für eine höhere Dynamik erfordern; in der Tat zeichnet sich selbst ihre klassenbeste Grundfläche durch eine Maximierung des Gesamtnutzenversprechens der Cost of Ownership aus. Kunden, die einen höheren Durchsatz, höhere Arbeitszyklen oder schwerere Nutzlasten ohne Verlust an Wiederholbarkeit oder Genauigkeit erreichen wollen, können getrost einen Standard-VULCANO2 oder eine davon abgeleitete kundenspezifische Lösung einsetzen. VULCANO2 stellt auch eine perfekte Lösung für alle Anwendungsfälle dar, bei denen Dynamik, Arbeitszyklen und Nutzlasten nicht so streng sind, obwohl die Positionierungsgenauigkeit über sehr lange Zeiträume hinweg gewährleistet sein muss: Die Bereitstellung einer mehrstündigen Navigationsgenauigkeit auf U-Ebene ist kein Traum mehr, sondern eine solide Realität dieses neuen Angebots von ETEL. Die Nutzung dieser Plattform ist geeignet, aber nicht beschränkt auf: - Waferprozesskontrollanwendungen wie Overlay-Messtechnik, kritische Dimension und Dünnschichtmesstechnik - Back-End: Flip-Chip-Prozesse auf großen Platten/Substraten Charakteristika: - Kompakte Stellfläche - Nutzlast bis zu 80 kg - Positionsstabilität im Nanometerbereich - Hohe Dynamik - Ausgezeichnete bidirektionale Wiederholbarkeit und Positionsstabilität - ISO 2-Reinraum-Kompatibilität