Planer Magnetron

zylinderförmig

Angstrom Sciences ist international bekannt für die Spitzentechnologie, die wir für Magnetron-Sputter-Anwendungen bereitstellen. Nun haben wir ein Verfahren entwickelt, mit dem Sie Ihre bestehenden zylindrischen Magnetrons mit unserem patentierten, profilierten Magnetdesign nachrüsten können – und so den „Angstrom Advantage™“ in Ihren Prozess integrieren. Wirtschaftliche Lösung Eine Nachrüstung mit zylindrischen Magneten bietet alle oben genannten Vorteile zu etwa einem Drittel der Kosten, die für den Austausch Ihrer bestehenden zylindrischen Baugruppe anfallen würden. •Magnete vollständig in Edelstahl gekapselt > •Hocheffiziente Wasserdurchströmung •Kompatibel mit allen bestehenden Target-Konstruktionen •Nahtlose Integration •Einstellbare Gleichmäßigkeit •Fortschrittliche Durchlaufzeiten führen zu flacheren Erosionsprofilen •Ein verbessertes Abscheidungsprofil führt zu weniger Ablagerungen an den Kammerwänden •Eine höhere Feldstärke ermöglicht die Erzielung der typischen Abscheidungsrate bei geringerer Leistung